主要特點:
允許快速的、在原位無破壞性的、高分辨率的處理控制。
自動激光對準(zhǔn)芯片技術(shù),無需人工手動調(diào)節(jié)。
設(shè)計小巧、緊湊;使用簡便、舒適。
所有的功能可以在一臺計算機上進行。
獨立的;適合大、小形狀各異的樣品。
樣品自動進場。
與標(biāo)準(zhǔn)計算機串行端口連接(不需要接口卡)。
特殊的掃描儀設(shè)計,確保低震動靈敏度。
技術(shù)參數(shù):
easyScan2 AFM原子力顯微鏡:
1. 兩種可供選擇的原子力顯微鏡掃描頭
(1) 大掃描范圍
掃描范圍:X和Y方向110um x 110um
xy軸分辨率: 1.7nm
掃描范圍: Z方向20um
z軸分辨率: 0.34nm
Z噪音標(biāo)準(zhǔn)(RMS): <0.4nm
(2) 高分辨率
掃描范圍:X和Y方向10um*10um
xy軸分辨率:0.15nm
掃描范圍:Z方向1.8um
z軸分辨率:0.027nm
Z噪音標(biāo)準(zhǔn)(RMS):<0.07nm
掃描速度:1800個數(shù)據(jù)點/秒
傳感半徑: <15nm
典型負(fù)載: 10nN
掃描儀質(zhì)量:350g
反饋回路寬帶:3kHz
自動進場范圍:5mm
沒有使用危險的高電壓
2. 電子控制器
數(shù)據(jù)采集時,可以和任何標(biāo)準(zhǔn)計算計串行端口連接
三個軸都有16位的數(shù)據(jù)收集與控制系統(tǒng)
軸輸出電壓:+12V
掃描速度:1-20分/框
1024樣品/直線
動態(tài)頻率范圍:15-300KHz
動態(tài)頻率分辨率:15-300KHz
外部電源
功率消耗量25VA
電子控制器質(zhì)量2.5kg
3. 軟件
軟件在Windows 操作系統(tǒng)上運行
測量數(shù)據(jù)可以實現(xiàn)可視化
不同的窗體的掃描數(shù)據(jù)可以被同時顯示
線觀察,點觀察,三維觀察
在線數(shù)學(xué)計算功能(減,平均值等等)
類似于粗糙度(Ra,Rq)、頂點剖面、厚度、距離和幾何分析的數(shù)據(jù)分析
可以實現(xiàn)多數(shù)據(jù)輸出
定制顯示器、工作場所
安裝非常簡便