晶圓退火烤箱,500度退火氮?dú)夂嫦?/strong>:
晶圓退火需進(jìn)行升溫處理,升溫處理具有多個(gè)升溫階段,每個(gè)升溫階段相應(yīng)的升溫速率不同,其中,所述多個(gè)區(qū)域在每個(gè)所述升溫階段中的溫度不同;對(duì)所述多個(gè)區(qū)域進(jìn)行保溫處理;對(duì)多個(gè)區(qū)域采用氮?dú)獗Wo(hù),該氮?dú)夂嫦洳捎幂o助降溫方式進(jìn)行降溫處理。
晶圓退火烤箱,500度退火氮?dú)夂嫦?/strong>技術(shù)性能:
1 工作室尺寸 W450mm×450mm×H450mm (90L),可定制
2 材質(zhì) 內(nèi)箱采用耐高溫SUS304不銹鋼,外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑
3 溫度范圍 RT+50-550℃
4 控溫精度 +1
5 溫度波動(dòng)度 ≤±1℃
6 溫度均勻度 ≤1.5%
7 潔凈度class100/class1000/無要求
8電源及總功率 AC 380V±10%/50HZ
9 升溫速度 1-10℃/min可調(diào)
10降溫方式 風(fēng)冷降溫/水冷
11氧含量 氧含量≤50ppm
12 數(shù)據(jù)輸出 氧含量分析儀,溫度記錄儀
13操作方式 彩色觸摸屏控制,可程式/定制運(yùn)行
14 樣品架 2層不銹鋼沖孔托盤
500度退火氮?dú)夂嫦?/strong>安全保護(hù):
三色報(bào)警燈
超溫報(bào)警
短路保護(hù)
漏電保護(hù)
超溫保護(hù),獨(dú)立感溫式超溫保護(hù)器
電機(jī)保護(hù)
電子鎖自動(dòng)鎖緊,防止高溫開門