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CVD/CVI/PECVD系統(tǒng) 高溫燒結(jié)爐

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱蘇州哈騰科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2023/1/19 9:48:56
  • 訪問次數(shù)508
產(chǎn)品標簽:

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蘇州哈騰科技有限公司作為一家高科技企業(yè),將為世界各地的高校、科研院所和企業(yè)提供全新的材料快速燒結(jié)技術(shù)、產(chǎn)品和服務(wù)。將為新材料制備市場注入新的活力。

本司擁有雄厚的人力與技術(shù)基礎(chǔ),目前擁有高級職稱2名,博士2名,高工5名。從工藝的制定、設(shè)備的選型到新材料的試制,我們?yōu)槟峁┬虏牧祥_發(fā)的流程服務(wù),使您的研究更加高效,且具特色。

我司自主開發(fā),國內(nèi)自主研發(fā)的快速燒結(jié)技術(shù)和設(shè)備可以優(yōu)化您的燒結(jié)生產(chǎn)工序,降低成本,提高效率,制備的產(chǎn)品具有優(yōu)良的組織和性能。

我們提供∶金屬、陶瓷、磁性材料、鐵電材料、熱電材料等快速燒結(jié)和超高溫燒結(jié)試制服務(wù)。從實驗室到工業(yè)企業(yè),我們建立了新材料從研發(fā)、中試到批量化生產(chǎn)的快速通道。*的快速燒結(jié)技術(shù)和設(shè)備將為客戶提供重要的競爭優(yōu)勢。

通過我司技術(shù)人員的通力合作,發(fā)現(xiàn)和掌握了一種新型電場輔助燒結(jié)原理和技術(shù)。全新的場輔助燒結(jié)技術(shù),通過直流電流加熱和軸向壓力,快速實現(xiàn)致密燒結(jié)和高溫合成。全自動程序控制的電流調(diào)節(jié)可以在最短的時間內(nèi)活化燒結(jié)過程。整個致密化過程的時間可以減少到幾十秒~幾分鐘,顯著改善了微觀組織,提高了性能。

該技術(shù)與SPS相比,沒有使用昂貴且難以精確控制的脈沖電源。結(jié)合閃燒和快速高溫的優(yōu)勢,該新技術(shù)展現(xiàn)了強大的效率優(yōu)勢。更加令人欣喜的是,材料的微觀組織結(jié)構(gòu)得到了優(yōu)化,新材料樣品展現(xiàn)出令人驚嘆的優(yōu)異性能。

在此基礎(chǔ)上,樣品尺寸越來越大以滿足更多更復雜的需求。蘇州哈騰創(chuàng)新的設(shè)計使得工業(yè)化生產(chǎn)成為可能,優(yōu)秀的產(chǎn)品可以在流水線上連續(xù)不斷地被生產(chǎn)出來。





快速熱壓燒結(jié)爐,高溫真空爐,氣象沉積爐,實驗室電爐,箱式爐,管式爐
設(shè)備特點1.高真空系統(tǒng)由雙級旋片真空泵和分子泵組成,真空可達10-4Pa
CVD/CVI/PECVD系統(tǒng) 高溫燒結(jié)爐 產(chǎn)品信息

  1. 設(shè)備特點


1.高真空系統(tǒng)由雙級旋片真空泵和分子泵組成,真空可達10-4Pa;
2.可配合壓強控制儀控制氣體壓力,實現(xiàn)負壓的精準控制;
3.數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計,流量顯示儀等組成,實現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制;
4.每條氣體管路均配備高壓逆止閥,保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性;
5.采用KF快速法蘭密封,裝卸方便快捷;
6.管路采用世界Swagelok卡套連接,不漏氣;
7.超溫、過壓時,自動切斷加熱電源及流量計進氣,使用安全可靠;
8.PECVD借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,更容易發(fā)生反應(yīng)。


  1. 設(shè)備參數(shù)

類別

加熱爐

射頻電源

真空系統(tǒng)

混氣系統(tǒng)

壓強控制系統(tǒng)

尾氣處理系統(tǒng)

溫度

加熱區(qū)

型式

管徑

長度

CVD

1200~1700℃

220~440mm

臥式、滑動式

Φ60~Φ100

600~1600

10Pa
1Pa
5*10-3Pa
(可選)

MFC單路或多路控制

可選

  1. 過濾
  2. 燃燒
  3. 冷凝
  4. 中和反應(yīng)

(可選)

CVI

1200~1700℃

220~440mm

立式、滑動式

Φ60~Φ100

600~1600

PECVD

1200℃

220~440mm

臥式、滑動式

Φ60~Φ100

1200~1600

300~500W




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