超純水是指水質(zhì)要求在1us以下或在10M歐姆以上的純水。可廣泛用于光學行業(yè)、光電行業(yè)、生物制藥行業(yè)、電鍍行業(yè)及電廠鍋爐補給用水。超純水處理設(shè)備采用預處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理等方法來制超純水，將水中的導電介質(zhì)幾乎去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。出水水質(zhì)電阻率達到15兆以上（即電導率0.06us/cm)，目前，我國電子工業(yè)部把工業(yè)超純水水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。
1、檢查失效混床各閥門關(guān)緊。
2、再生水箱高水位，混床酸、堿計量箱液位高。
3、一級除鹽系統(tǒng)運行正常，壓縮空氣充足。
4、壓力表、流量表、溫度表等投入正常運行。
一、樹脂分層：
分層是將已經(jīng)飽和失效（或未再生）的，還呈混合狀的混合陽陰離子交換樹脂分開，以便再生。一般采用反洗的方法。分層前，可由下而上，通入床內(nèi)樹脂體積1至2倍的5%的NaOH，再行反洗。反洗流速約為4-10m/h，時間約為20分鐘。分層的好壞與樹脂的再生效果后的產(chǎn)水水質(zhì)有直接性的關(guān)系，如果分層未分好樹脂的再生周期短，制水量少，出水水質(zhì)低。
二、配酸堿：
按照相應的比例，分別配置33~36%濃度的HCl及99%濃度的NaOH，供再生時使用，再生時燒堿（氫氧化鈉）與水的比例為1：1。
三、同步轉(zhuǎn)型：
同步轉(zhuǎn)型是將已經(jīng)飽和失效的M+型陽離子交換樹脂及R-型陰離子交換樹脂同時轉(zhuǎn)型成H+型陽離子交換樹脂及OH-型陰離子交換樹脂，使其恢復離子交換功能。同步轉(zhuǎn)型時，給混床內(nèi)上半部的R-型陰離子交換樹脂通入3—4倍體積5%濃度的NaOH，給混床內(nèi)下半部的M+型陽離子交換樹脂通入3—4倍體積兌水后99%%濃度的HCl。同步轉(zhuǎn)型時間約60分鐘。要點是：調(diào)節(jié)中排閥，控制中排出水的流量，使液位始終保持在上視鏡的中部—在陰離子交換樹脂表面上約5cm處。
四、同步置換沖洗：
同步轉(zhuǎn)型完畢，用反滲透淡水繼續(xù)分別由上、下同步給混床慢速注水，進行置換沖洗陰、陽離子交換樹脂，以延長化學反應時間，節(jié)約化學再生劑的用量。同步置換沖洗時間約20分鐘。
五、同步?jīng)_洗：
置換沖洗完畢，轉(zhuǎn)入同步?jīng)_洗，洗掉多余的再生劑。用反滲透淡水繼續(xù)分別由上、下同步給混床注水，進行沖洗陰、陽離子交換樹脂。至中排管出水電導率小于混床進水，同時中排管出水PH接近中性。同步?jīng)_洗時間約20分鐘。
六、氣沖混合：
同步?jīng)_洗完畢，轉(zhuǎn)入氣沖混合。氣沖混合時，由混床下部通入氮氣或無油壓縮空氣，攪拌混床內(nèi)的陰、陽離子交換樹脂，使其混合。氣沖混合時間約15分鐘。
七、注水：
氣沖混合完畢，快速上進水；同時打開排氣閥排氣，至排氣閥出水。排水1分鐘關(guān)排氣閥。
八、淋洗：
注水完畢，轉(zhuǎn)入淋洗。淋洗狀態(tài)與工作狀態(tài)相似，只是淋洗時，混床的出水電阻率小于額定值時，需排放掉。淋洗時間約30分鐘。
九、工作：
淋洗完畢，混床轉(zhuǎn)入工作或備用。
各行業(yè)工業(yè)生產(chǎn)中對純水，超純水的水質(zhì)要求都不一樣，具體如下表供參考：
| 工業(yè)企業(yè)類型 | 用途 | 水質(zhì)要求 |
| 五金電鍍廠 | 生產(chǎn)鍍件沖洗用純水 | 電導率≤10～20μs/cm |
| 塑膠電鍍廠 | 生產(chǎn)鍍件沖洗用水 | 電導率≤10μs/cm |
| 五金塑膠鍍金銀 | 生產(chǎn)鍍件沖洗用水 | 電導率≤2μs/cm |
| 線路板廠 | 微蝕沖洗純水 | 電導率≤10μs/cm |
| 電子、電器廠 | 工業(yè)用純水 | 電阻率≥2MΩ.CM |
| 玻殼生產(chǎn)廠 | 玻殼生產(chǎn)沖洗用水 | 電阻率≥2MΩ.CM |
| 鋁合金生產(chǎn)廠 | 鍍膜沖洗用純水 | 電阻率≥2MΩ.CM |
| 精密五金組件廠 | 表面處理沖洗用純水 | 電阻率≥5MΩ.CM |
| 汽車烤漆廠 | 鍍漆表面沖洗用純水 | 電阻率≥5MΩ.CM |
| 印染廠 | 印染用純水 | 電阻率≥2MΩ.CM |
| 鎳氫電池、電子廠 | 工業(yè)用超純水 | 電阻率≥10MΩ.CM |
| 彩色顯示器生產(chǎn)廠 | 顯象管沖洗超純水 | 電阻率≥18MΩ.CM |
| 計算機廠 | 硬盤生產(chǎn)沖洗超純水 | 電阻率≥18MΩ.CM |
| 實驗室用 | 電子級超純水 | 電阻率≥18MΩ.CM |
| 鍍膜玻璃廠 | 鍍膜用電子超純水 | 電阻率≥17～18MΩ.CM |
| 薄浮法玻璃廠 | 鍍膜工業(yè)用超純水 | 電阻率≥17MΩ.CM |
| 半導體廠 | 生產(chǎn)用超純水 | 電阻率≥15MΩ.CM |
| 液晶顯示器廠 | LCD沖洗用超純水 | 電阻率≥12～15MΩ.CM |
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