低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統(tǒng)水泵發(fā)生故障的話，就需要及時(shí)有效的解決，那么一般來(lái)說(shuō)，故障怎么解決好呢？

水泵故障原因分析：

水泵交流接觸器上的過(guò)載保護(hù)器動(dòng)作。

水泵電容器燒壞(單相)。

水泵本身問(wèn)題，如：線圈燒壞、軸承壞死等。

水泵故障的排除方法：

輕按過(guò)流保護(hù)器中RESET復(fù)位鍵即可。

更換電容器。

更換水泵(更換水泵時(shí)應(yīng)注意水泵的轉(zhuǎn)向)。

注意事項(xiàng)：

低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統(tǒng)和工業(yè)低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統(tǒng)排除以上故障前都應(yīng)先檢查各電源連接線路是否有斷開(kāi)、破損、短路等，避免在維修時(shí)帶來(lái)不必要的麻煩。

當(dāng)機(jī)器出現(xiàn)故障時(shí)，應(yīng)請(qǐng)專業(yè)人員進(jìn)行機(jī)器檢查維修，嚴(yán)禁在機(jī)器處理故障時(shí)將機(jī)器強(qiáng)行起動(dòng)。

工業(yè)低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統(tǒng)起動(dòng)、運(yùn)轉(zhuǎn)

按調(diào)度指令打開(kāi)切換井的進(jìn)出水閘門，關(guān)閉其他各閘門。

水泵啟動(dòng)前，應(yīng)向填料函上的接管，引注清水潤(rùn)滑橡膠軸承，待泵出水后即可關(guān)小，有水滴出為宜，檢查泵軸承位的油位，確保各處水、油路暢通。

水泵啟動(dòng)前檢查各連接部位應(yīng)無(wú)松動(dòng)，用手轉(zhuǎn)動(dòng)聯(lián)軸器，看是否靈活，泵內(nèi)是否有響聲。

低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統(tǒng)水泵啟動(dòng)時(shí)，機(jī)旁不得站人，啟動(dòng)后應(yīng)至少守機(jī)五分鐘檢查設(shè)備情況，如有不正常的振動(dòng)和聲音或出水情況有異常應(yīng)立鄖停機(jī)檢查，不允許投入運(yùn)行后隨即離開(kāi)機(jī)泵。