一、產(chǎn)品介紹
1、內(nèi)置微處理器
2、LCD數(shù)字顯示
3、自我診斷功能
4、泵式采樣方式
5、輕量設計
6、峰值保持和平均值
7、聲光報警二、產(chǎn)品參數(shù)
1、檢測氣體:氟化氫(HF)
2、檢測原理:電化學原理
3、采樣方式:內(nèi)置泵吸式(0.5L/min)
4、檢測范圍:0-9 ppm
5、檢測精度:0.05 ppm
6、報警值:1st: 3 ppm 2nd: 6 ppm
7、顯示:LCD數(shù)字顯示,報警時自動開啟背景燈
8、溫濕度:-10~40℃、低于88%RH,無凝結(jié)
9、電源:堿性電池(標準):約18小時(無報警時)
10、安全結(jié)構(gòu):Exia II C-T4 IP67
11、尺寸:154(W) × 81(H) × 164(D)mm
12、重量:約 1.0kg(包括電池)
氣體選型表:
檢測氣體
化學式
測量范圍(刻度)
第1報警點
第2報警點
硅烷
SiH4
0-15ppm(0.1ppm)
5ppm
10ppm
磷烷
PH3
0-1ppm(0.01ppm)
0.3ppm
0.6ppm
臭氧
O3
0-1ppm(0.01ppm)
0.3ppm
0.6ppm
氟
F2
0-3ppm(0.02ppm)
1ppm
2ppm
HCl
0-15ppm(0.1ppm)
5ppm
10ppm
氟化氫
HF
0-9ppm(0.05ppm)
3ppm
6ppm
溴化氫
HBr
0-9ppm(0.05ppm)
3ppm
6ppm
氨
NH3
0-75ppm(0.5ppm)
25ppm
50ppm
砷烷
AsH3
0-200ppm(1ppb)
50ppm
100ppm
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1、檢測氣體:氟化氫(HF)
2、檢測原理:電化學原理
3、采樣方式:內(nèi)置泵吸式(0.5L/min)
4、檢測范圍:0-9 ppm
5、檢測精度:0.05 ppm
6、報警值:1st: 3 ppm 2nd: 6 ppm
7、顯示:LCD數(shù)字顯示,報警時自動開啟背景燈
8、溫濕度:-10~40℃、低于88%RH,無凝結(jié)
9、電源:堿性電池(標準):約18小時(無報警時)
10、安全結(jié)構(gòu):Exia II C-T4 IP67
11、尺寸:154(W) × 81(H) × 164(D)mm
12、重量:約 1.0kg(包括電池)
氣體選型表:
檢測氣體
化學式
測量范圍(刻度)
第1報警點
第2報警點
硅烷
SiH4
0-15ppm(0.1ppm)
5ppm
10ppm
磷烷
PH3
0-1ppm(0.01ppm)
0.3ppm
0.6ppm
臭氧
O3
0-1ppm(0.01ppm)
0.3ppm
0.6ppm
氟
F2
0-3ppm(0.02ppm)
1ppm
2ppm
HCl
0-15ppm(0.1ppm)
5ppm
10ppm
氟化氫
HF
0-9ppm(0.05ppm)
3ppm
6ppm
溴化氫
HBr
0-9ppm(0.05ppm)
3ppm
6ppm
氨
NH3
0-75ppm(0.5ppm)
25ppm
50ppm
砷烷
AsH3
0-200ppm(1ppb)
50ppm
100ppm