1 、主題內(nèi)容與通用范圍
本標(biāo)準(zhǔn)給出了電力半導(dǎo)體器件工藝用高純水(以下稱高純水)的級(jí)別、技術(shù)要求、測試方法和規(guī)則。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于去離子處理后的高純水。
2 、引用標(biāo)準(zhǔn):GB11446電子級(jí)水及其檢測方法。
3 、術(shù)語
3.1 電導(dǎo)率 Electrical conductivity
在規(guī)定溫度下,1cm3水溶液兩相對面之間測得的電阻值的倒數(shù)。電導(dǎo)率通常以μS/cm為單位。
純水的理論電導(dǎo)率為0.05482 μs/cm (25℃時(shí))。
3.2 電阻率 Resistivity,電導(dǎo)率之倒數(shù)。
純水的理論電阻率為18.248 MΩ.cm (25℃時(shí))。溫度升高時(shí)電阻率下降。
3.3 總?cè)芙庑怨腆w Total dissolved solids(TDS)
水中溶解物質(zhì)的總含量,包括鈣鎂離子、膠體、懸浮顆粒物、蛋白質(zhì)、病毒、細(xì)菌、微生物及尸體。TDS通常以mg/L或ppm為單位。
3.4 總硬度(DH值)
水總硬度是指水中Ca2+、Mg2+的總量。
硬度一般以德國標(biāo)示法為準(zhǔn),計(jì)為DH。即以每升水含氧化鈣10mg為1DH。小于8DH為軟水、大于17DH為硬水。