Diener等離子表面處理設(shè)備 德國(guó)
德國(guó)Diener是專門生產(chǎn)經(jīng)濟(jì)、可靠的等離子清洗和等離子刻蝕設(shè)備的公司, 是世界上材料處理低溫等離子體設(shè)備的市場(chǎng)和技術(shù)者。Diener采用*的集成化技術(shù)開發(fā)生產(chǎn)射頻頻率為40KHz 、80KHz、13.56MHz，以及代表等離子應(yīng)用技術(shù)的2.45GHz的等離子清洗機(jī)。
目前設(shè)備廣泛應(yīng)用于：等離子清洗、刻蝕、灰化、涂鍍和表面處理。產(chǎn)品主要分布在真空電子、LED、太陽(yáng)能光伏、集成電路、生命科學(xué)、半導(dǎo)體科研、半導(dǎo)體封裝、芯片制造、MEMS器件等領(lǐng)域。其設(shè)備生產(chǎn)零件均選用其零件行業(yè)的產(chǎn)品，以保證性能技術(shù)穩(wěn)定。
德國(guó)diener等離子表面處理設(shè)備特點(diǎn)：
等離子清洗機(jī)清洗效果好，效率高，應(yīng)用范圍廣。
對(duì)清洗樣品，沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求
等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達(dá)到常溫處理。
射頻功率無(wú)極連續(xù)可調(diào)。
高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
特制電極和托盤結(jié)構(gòu)，可充分利用真空艙體內(nèi)部空間，使處理大化，同時(shí)也可保證樣品可得到全面有效的清洗。
*的過載、短路和過熱保護(hù)電路，可保證射頻電源的穩(wěn)定和安全。
設(shè)備整體模塊化設(shè)計(jì)，安裝與維護(hù)極為簡(jiǎn)單。
德國(guó)diener等離子表面處理設(shè)備多種系列：
Diener等離子表面處理設(shè)備 PICO PCCE 全自動(dòng)
圖片公供參考
主要技術(shù)參數(shù)：
1. *全自動(dòng)PCCE控制系統(tǒng),可存儲(chǔ)50套程序。
2. *根據(jù)工藝要求不同，可設(shè)定真空泵啟動(dòng)與停止、發(fā)生器的功率、反應(yīng)腔體壓強(qiáng)、氣體流量與時(shí)間等參數(shù)
3. 雙路工作氣體，MFC質(zhì)量流量計(jì)
4. *反應(yīng)艙為方形鋁制腔體w: 150 mm, h: 160 mm, d: 325 mm帶有鉸鏈門，門帶有觀察窗。
5. *發(fā)生器100 kHz, 0 – 500 W連續(xù)可調(diào)，反射波自動(dòng)調(diào)節(jié)。
6. 電極材質(zhì)為鋁制。
7. 真空泵抽氣能力8m3/h
8. *配有壓力傳感器，實(shí)時(shí)顯示壓力值
9. 電源電壓：?jiǎn)蜗郃C230V 16A
配置清單：
數(shù)量 | 備注 | |
主機(jī) | 一臺(tái) | Diener PICO |
真空泵（國(guó)內(nèi)采購(gòu)） | 一臺(tái) | VRD-8油泵 |
電源線 | 一根 | 2mm |
操作說明書 | 一本 |
操作面板
