MC200系列標(biāo)準(zhǔn)型氣體層流質(zhì)量流量控制器
——對(duì)控制精度、重復(fù)性有更高要求的行業(yè)配套客戶(hù)優(yōu)選
MC200系列標(biāo)準(zhǔn)型氣體層流質(zhì)量流量控制器與SC100系列標(biāo)準(zhǔn)型氣體層流質(zhì)量流量控制器的區(qū)別在于沒(méi)有觸摸式顯示屏,通過(guò)產(chǎn)品內(nèi)置的壓力、溫度傳感器的精確補(bǔ)償及核心算法,在低零點(diǎn)、溫度、壓力漂移量上表現(xiàn)出了杰出性能。堅(jiān)固的金屬外殼,使產(chǎn)品在工業(yè)復(fù)雜環(huán)境下確保耐用性和強(qiáng)抗電磁干擾性能,同時(shí),內(nèi)置多種氣體和混氣設(shè)置,數(shù)字式和模擬式的通訊方式,實(shí)現(xiàn)流量的精確測(cè)量和控制。
特征:
l 原理:層流壓差式流量計(jì)
l 高精度:±1.0%設(shè)定值精度
l 高重復(fù)性:±0.2%F.S.
l 寬溫度、寬壓力適用范圍:-20℃~60℃、1Mpa以?xún)?nèi)
l 可選模擬信號(hào)(0~5)V或數(shù)字信號(hào)RS485通訊方式
l 內(nèi)置43種氣體和混氣測(cè)量
l 提供上位機(jī)軟件實(shí)時(shí)顯示和下載數(shù)據(jù)信息
使用條件:
l 兼容內(nèi)置的43種氣體和可編輯的混合氣體
l 工作流量范圍:1%~120%F.S.
l 介質(zhì)溫度:-20℃~60℃
l 環(huán)境溫度:-20℃~60℃
l 使用濕度:0%~98%(無(wú)冷凝)
l 工作壓力:1Mpa
l 耐壓:1.5Mpa
l 供電電壓:﹢(18~30)VDC
l 消耗電流:<150mA (供電電壓為24v時(shí)) <300mA(<5V)
l 安裝方式:任意角度
規(guī)格型號(hào):
l PIG-MC201(微流量)
PIG-MC201-00-0500 0.5 SCCM
PIG-MC201-01-0001 1 SCCM
PIG-MC201-01-0002 2 SCCM
PIG-MC201-01-0005 5 SCCM
PIG-MC201-01-0010 10 SCCM
PIG-MC201-01-0020 20 SCCM
l PIG-MC202(小流量)
PIG-MC202-01-0050 50 SCCM
PIG-MC202-01-0100 100 SCCM
PIG-MC202-01-0200 200 SCCM
PIG-MC202-01-0500 500 SCCM
PIG-MC202-01-1000 1000 SCCM
PIG-MC202-01-2000 2000 SCCM
l PIG-MC220(中流量)
PIG-MC220-02-0005 5 SLPM
PIG-MC220-02-0010 10 SLPM
PIG-MC220-02-0020 20 SLPM
PIG-MC220-02-0050 50 SLPM
PIG-MC220-02-0100 100 SLPM
PIG-MC220-02-0200 200 SLPM
l PIG-MC250(大流量)
PIG-MC250-02-0500 500 SLPM
應(yīng)用場(chǎng)景
l 光學(xué)、原子鍍膜設(shè)備中的流控器件
l 制造設(shè)備中流控系統(tǒng)的集成和配套
l 精細(xì)化工生產(chǎn)線中的流控器件
l 生物反應(yīng)器成套設(shè)備中的流控器件
l 配氣系統(tǒng)或裝置中的流控器件
l 分析儀器、科學(xué)儀器中的流控器件
l 定制化成套自動(dòng)化設(shè)備中的流控器件