技術(shù)應(yīng)用鏈接:
Tetra 3600 PC | 特殊設(shè)
開關(guān)柜:寬 3000 mm、高 1800 mm、深 1500 mm
腔室:寬 2500 mm、高 1200 mm、深 1200 mm
處理幅寬:2000mm
卷軸直徑:127mm
卷軸外徑:300mm
腔室容積:約 3600升
氣體供給:通過 MFC 控制的 2 個氣體通道
發(fā)生器:1 個 (80 kHz)或者13.56MHz 0-3000W
控制系統(tǒng):配有工業(yè)現(xiàn)場總線的 PC-控制系統(tǒng) (Windows)
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關(guān)鍵詞:
Diener
Tetra3600
等離子表面處儀
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