特點:
·便捷的觸摸屏操作界面
·專用軟件支持自動/手動操作模式可切換(自動模式下可儲存多套工藝程序),支持操作權(quán)限分級設(shè)定
·數(shù)字及圖形化工藝參數(shù)控制及實時顯示
·支持6"/8"/12" wafer的去膠清洗
·安全及異常報警功能
·多語言:法語、英語,德語,中文
用途:
·去除光刻膠
·干刻或濕刻處理前或后
·SU-8或其他環(huán)氧基樹脂
·MEMS制造中去除犧牲層
·去除光刻膠,SU-8,環(huán)氧樹脂
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規(guī)格
型號 | Nano 6" | Nano 8" | Nano12" | ||||
控制系統(tǒng) | 控制方式 | 全自動控制(自動/手動切換) | |||||
操作系統(tǒng) | Windows/西門子IO工控軟件 | ||||||
觸摸屏 | 3.5/7/15 | ||||||
工藝氣體氣路 | Max.10路 | ||||||
流量計 | MFC數(shù)字流量計 | ||||||
反應(yīng)腔 | 腔體材質(zhì) | 高硼硅玻璃/石英可選 | |||||
內(nèi)尺寸(Φ×D) | Ø 240 x D 600 mm | Ø 305 x D 400 mm | Ø 400 x D 600 mm | ||||
容積(L) | 27 | 29 | 75 | ||||
腔門(不銹鋼/鋁) | 推拉門/鉸鏈門可選,標配觀察窗 | ||||||
托盤 | 石英舟,方形石英支架可選 | ||||||
電極 | 材質(zhì) | 360度外置環(huán)繞,鋁/不銹鋼電極 | |||||
發(fā)生器
| 頻率/功率 | 13.56MHz 0-300W,0-600W,0-1000W 2.45GHz 0-850,0-1000W,0-1200W | |||||
真空壓力計(mbar) | 皮拉尼真空傳感器(0.01-9.99) | ||||||
外形尺寸WDH(mm) | 560x800x800 | 1200x800x1700 | |||||
電源 | AC400 V / 16 A | ||||||
真空泵 | 排氣速度 | ≥30m3/H | 排氣速度≥36m3/H | 排氣速度≥60m3/H | |||
真空度 | ≤1Pa | ≤1Pa | ≤1Pa |