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Diener 等離子去膠機 NANO 6,8,12 羅茨風(fēng)機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海爾迪儀器科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/8/1 9:08:02
  • 訪問次數(shù)190
產(chǎn)品標簽:

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上海爾迪儀器科技有限公司是一家代理經(jīng)銷國內(nèi)外儀器的專業(yè)公司。 秉承“銷售*儀器、提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)”的宗旨,在制藥、化工、環(huán)??蒲?大學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域開拓了廣泛的市場,并贏得了廣大用戶的支持和信賴。爾迪在今后的發(fā)展中,將貫徹誠信、服務(wù)、務(wù)實、創(chuàng)新的經(jīng)營理念,-如既往地把國內(nèi)外優(yōu)秀的儀器設(shè)備介紹并提供給國內(nèi)的用戶。孜孜追求,不懈努力,不斷提高服務(wù)水平,為提升用戶的檢測水平和科研水平貢獻各自的綿薄之力,與廣大用戶共同享受*成果,在互利協(xié)作中共同進步。我司代理德國Diener全線等離子表面處理設(shè)備,低壓等離子表面處理設(shè)備: ZEPTO. ATTO. FEMTO、 PICO. NANO. TETRA系列及非標定制型;常壓等離子表面處理設(shè)備: PL ASMABEAM、PLASMABEAM PC. PLASMABEAM DUO. PLASMABEAM MINI及APC500電暈設(shè)備。Diener免費提供500多種工藝參數(shù),在德國總部有多名工藝工程師,并且擁有自已的工藝開發(fā)實驗室,可以為客戶提供完整的工藝參數(shù)。爾迪儀器于2015年取得Diener全線產(chǎn)品的售前與售后服務(wù)資質(zhì)(中國唯- ),爾迪儀器提供12小時的響應(yīng)服務(wù), 24小時的。2016年初,爾迪儀器與Diener共同在上海組建了實驗室,為中國客戶免費提供售前服務(wù),包括樣機試用、產(chǎn)品工藝開發(fā)及驗證及為客戶提供批量處理服務(wù)。
表面處理儀,,
技術(shù)應(yīng)用鏈接:特點:便捷的觸摸屏操作界面專用軟件支持自動/手動操作模式可切換(自動模式下可儲存多套工藝程序)
Diener 等離子去膠機 NANO 6,8,12 羅茨風(fēng)機 產(chǎn)品信息
技術(shù)應(yīng)用鏈接:

特點:

·便捷的觸摸屏操作界面

·專用軟件支持自動/手動操作模式可切換(自動模式下可儲存多套工藝程序),支持操作權(quán)限分級設(shè)定

·數(shù)字及圖形化工藝參數(shù)控制及實時顯示

·支持6"/8"/12" wafer的去膠清洗

·安全及異常報警功能

·多語言:法語、英語,德語,中文

 

用途:

·去除光刻膠

·干刻或濕刻處理前或后

·SU-8或其他環(huán)氧基樹脂

·MEMS制造中去除犧牲層

·去除光刻膠,SU-8,環(huán)氧樹脂

 

 

 

 

規(guī)格

型號

Nano 6

Nano 8

Nano12

控制系統(tǒng)

控制方式

全自動控制(自動/手動切換)

操作系統(tǒng)

Windows/西門子IO工控軟件

觸摸屏

3.5/7/15

工藝氣體氣路

Max.10

流量計

MFC數(shù)字流量計

反應(yīng)腔

腔體材質(zhì)

高硼硅玻璃/石英可選

內(nèi)尺寸(Φ×D)

Ø 240 x D 600 mm

Ø 305 x D 400 mm

Ø 400 x D 600 mm

容積(L)

27

29

75

腔門(不銹鋼/鋁)

推拉門/鉸鏈門可選,標配觀察窗

托盤

石英舟,方形石英支架可選

電極

材質(zhì)

360度外置環(huán)繞,鋁/不銹鋼電極

發(fā)生器

 

頻率/功率

13.56MHz 0-300W,0-600W,0-1000W

2.45GHz 0-850,0-1000W,0-1200W

真空壓力計(mbar)

皮拉尼真空傳感器(0.01-9.99)

外形尺寸WDHmm)

560x800x800

1200x800x1700

電源

AC400 V / 16 A

真空泵

排氣速度

30m3/H

排氣速度≥36m3/H

排氣速度≥60m3/H

真空度

1Pa

1Pa

1Pa

 

未找到相應(yīng)參數(shù)組,請于后臺屬性模板中添加
15700106413
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