用途:
這類(lèi)顯微鏡依據(jù)所測(cè)光潔度▽3-▽9/0.8-80um為光切法顯微鏡,▽10-▽14/1-0.03um為干涉顯微鏡。適用于測(cè)量零件表面刻線,鍍層深度等,對(duì)大型工件作表面測(cè)量時(shí),可將儀器倒置在工件上。
主要技術(shù)參數(shù):
1、測(cè)量表面光潔度范圍:▽3-▽9(相當(dāng)不平度0.8-80um)
2、表面光潔度(級(jí)別):9、8-7、6-5、4-3
3、所需物鏡:60倍N.A.0.55、30倍N.A.0.40、 14倍N.A.0.20、7倍N.A.0.12
4、總放大倍數(shù):510X、260X、120X、60X
5、物鏡組件工作距離(mm):0.04、0.2、2.5、9.5
6、視場(chǎng)(mm):0.3、0.6、1.3、2.5
7、不平寬度:用測(cè)微目鏡:0.7微米~2.5毫米
用座標(biāo)工作臺(tái):(0.01~13)毫米
8、儀器重量約: 23公斤