產(chǎn)品特色
EFM500氣體流量傳感器的特征是:可雙向檢測氣體流量,測量范圍是±(20-500 )SLPM,總誤差為讀數(shù)的1%。流線型對稱設(shè)計,高質(zhì)量塑料制造,即使在雙向流量下也呈現(xiàn)非常低的壓降。校準(zhǔn)氣體為空氣,也可根據(jù)要求提供其他非腐蝕性氣體。
性能指標(biāo)
校準(zhǔn)氣體 空氣,其它可用氣體根據(jù)要求
流量范圍 ±( 20-500 )SLPM,雙向或單向
供電電壓 3.3V 或 5V
工作壓力 1.45BarA
預(yù)熱時間 35ms
輸出信號 I2C,SPI,0-5V,0-3.3V
總 誤 差 1%讀數(shù)
ADC分辨率 16位
輸出刷新率 1ms( 1KHz )
壓 損 <750pa@200 SLPM
操作溫度 - 40℃ ~ 85℃
校準(zhǔn)溫度 0℃ ~ 50℃
濕 度 0% - 95% RH, 無冷凝
尺 寸 44×92.8×35.4mm(W×L×H)
材 質(zhì) 接液材質(zhì):增強(qiáng)玻璃熱塑性聚合物、金、硅、氮化硅、硅氧化物、
環(huán)氧樹脂、硅橡膠、FR4、聚氨酯、316不銹鋼
外殼材質(zhì):增強(qiáng)玻璃熱塑性聚合物
過程接口 22mm ISO 5356
電氣接口 2mm 鎖定連接器
認(rèn) 證 RoHS, CE,WEEE
選項配件
評估套件
氣體流量評估套件被設(shè)計成一款即插即用型設(shè)備,無需定制軟件或硬件設(shè)計及開發(fā),旨在為用戶提供一個緊湊的解決方案來評估EFM500系列雙向氣體質(zhì)量流量計。開發(fā)了一個用戶友好的軟件用于記錄和監(jiān)測EFM500系列的流量數(shù)據(jù)。