微小型熱式氣體質(zhì)量流量計(jì) 關(guān)鍵字:流量計(jì),孔板流量計(jì),浮子流量計(jì),傳感器,質(zhì)量流量計(jì),,,,,,, | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
一、 產(chǎn)品概述 采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS( Microelectromechanical systems)氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器,主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。 該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無可動(dòng)部件,量程比寬,響應(yīng)時(shí)間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補(bǔ)償
2.2 流量范圍: DN3 30-300ml/min DN6 60-600ml/min DN8 80-800ml/min DN10 100-1000ml/min 注:(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言; (b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃,101.325kPa。 (c) 每個(gè)口徑量程范圍均可擴(kuò)大 (d)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨(dú)標(biāo)定 2.3 流量測量準(zhǔn)確度:±1.5%FS;±2.5%FS 三、 工作原理
式中:氣體流動(dòng)方向?yàn)?span style="color: red;">x,速度為v,a為擴(kuò)散率。 如上圖(式)所示,當(dāng)氣體流過芯片時(shí),將會(huì)帶走熱量,通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應(yīng)關(guān)系來計(jì)算流體的質(zhì)量流量。
1、產(chǎn)品集成度高,集瞬間流量顯示、累計(jì)流量顯示和信號(hào)輸出一體,并可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)、控制閥門。 2、μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù),使流量計(jì)的微流量測量靈敏度顯著提升。 3、微小流量氣體測量,ml/min級的微流量測控,實(shí)現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化。 4、單個(gè)芯片的流量特性的微處理技術(shù),使流量計(jì)的量程范圍大大提高。 5、機(jī)電一體化優(yōu)化設(shè)計(jì),智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù),使流量計(jì)具有更好的重復(fù)性,實(shí)現(xiàn)了計(jì)量的準(zhǔn)確、可靠。 6、結(jié)構(gòu)的優(yōu)化,MFM流量計(jì)的壓力損失達(dá)到最小化。 7、采用新的MF傳感技術(shù),使流量計(jì)工作更穩(wěn)定、可靠。 8、零點(diǎn)自校功能,測量更準(zhǔn)確。 9、多種氣體實(shí)際標(biāo)定,全量程補(bǔ)償。 10、快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲(chǔ),配合上位機(jī)可實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理。 11、規(guī)格齊全,量程范圍寬,可根據(jù)用戶要求單獨(dú)標(biāo)定。 12、精度等級高,滿足用戶高精度測量要求。 13、的流量計(jì)報(bào)警功能,使監(jiān)控更可靠。 14、操作、設(shè)置界面友好、簡便,可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)。 15、運(yùn)用行業(yè)多,是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的。
六、安裝與接線 7.1 安裝注意事項(xiàng)
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相關(guān)信息 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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公司自創(chuàng)建以來,致力于工業(yè)生產(chǎn)過程控制儀表和自動(dòng)化系統(tǒng)的研制、生產(chǎn)、銷售及工程施工。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于石油、化工、電力、冶金、航天、水利、環(huán)保等行業(yè)。
我公司經(jīng)過多年的可持續(xù)發(fā)展,業(yè)績逐年穩(wěn)步增長。在逐步完善各種管理制度的同時(shí),建立健全了科技研發(fā)團(tuán)隊(duì)、專業(yè)銷售團(tuán)隊(duì)、以及完善的售后服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。產(chǎn)品范圍涉及:儀器儀表、電線電纜、機(jī)電設(shè)備、電子元器件、橋架等。產(chǎn)品取得了生產(chǎn)許可證,并通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證。
我公司奉行“團(tuán)結(jié)、進(jìn)取、務(wù)實(shí)、創(chuàng)新”的企業(yè)精神,致力于誠招天下英才,廣納八方賢士。公司全體員工熱忱歡迎海內(nèi)外新老客戶前來洽談、指導(dǎo)!