f=200mm超小型微分干渉同軸照明無限光學(xué)系統(tǒng)TL-200S-OP-NP
1.用途:用于半導(dǎo)體、電子基板、LCD、TFT、PDP等領(lǐng)域的觀察、測量及定位
2.物鏡上方設(shè)有DIC棱鏡,照明的橫(側(cè))方向挪動的2個光線分離照明光照在物體上,能立體觀察及根據(jù)物體直接反射的2個光線差、明暗的對比,觀察極小的等級差別。光路差成為顏色的變化,微小等級差別的觀察能更加提高靈敏度,更好地提高觀察率。用通常的光學(xué)系很難適合觀察(硅片、晶片)的細微傷痕的檢驗,基板的壓接部分的凹凸等觀察、測量。
M Plan APO 物鏡的対應(yīng) | ||||||||
1.物鏡固定螺蚊:W26 36牙(36TPI) | 3.本體部:DIC棱鏡盒插口、Analyzer插口 | |||||||
2.照明部:同軸照明、可變亮度光圈、Poraraizarinsart | 4.対應(yīng)CCD英寸尺寸:1/3、1/2、2/3 | |||||||
可選配的M Plan APO 物鏡 微分觀察推薦2x~10x
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