1700度三溫區(qū)CVD實(shí)驗(yàn)室設(shè)備由單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)子流量計(jì)、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成
CVD設(shè)備是借助于光放電等方法產(chǎn)生等離子體,光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡(jiǎn)單。
軟件控制系統(tǒng):該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出,并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時(shí)可以調(diào)出。
產(chǎn)品用途:
1700度三溫區(qū)cvd實(shí)驗(yàn)室設(shè)備是一種特殊的高真空CVD系統(tǒng),是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。
產(chǎn)品參數(shù):
- 產(chǎn)品型號(hào):S-1700PC
- 氣路控制:浮子流量計(jì)/質(zhì)量流量計(jì)
- 真空系統(tǒng):旋片泵/擴(kuò)散泵/分子泵
- 可選配件:水冷機(jī)/數(shù)顯真空計(jì)
- 溫度:1700℃(可定制)
- 工作溫度:≤1600℃(可定制)
- 加熱元件:優(yōu)質(zhì)硅鉬棒
- 溫控方式:智能化30段PID微電腦可編程控制
- 溫控保護(hù):具有超溫及斷偶報(bào)警功能
- 熱電偶:B型
- 爐膛材質(zhì):高純氧化鋁多晶纖維
- 加熱速率:0-20℃/分
- 恒溫精度:±1℃
- 均勻性:±5℃
- 極限真空:6.0×10-5Pa
- 工作真空:7.6×10-4Pa
- 爐殼結(jié)構(gòu):雙層殼體帶風(fēng)冷系統(tǒng)
- 額定功率:6Kw
- 供電電源:110-480V 50/60Hz
- 售后服務(wù):12個(gè)月質(zhì)保,終身保修(易損件除外)