- 設(shè)備專門用于IT 制造業(yè)結(jié)構(gòu)件真空踱膜加工,各系統(tǒng)單元和總體構(gòu)成滿足光學(xué)和功能薄膜生產(chǎn)工藝要求,適用AR膜、NCVM顏色膜、金屬裝飾膜、金屬功能膜、AF功能膜等。
- 該渡膜機(jī)鍍膜機(jī)采用立式箱體,前置室門上裝有觀察窗,箱內(nèi)安裝轉(zhuǎn)架驅(qū)動(dòng),爐內(nèi)安裝烘烤系統(tǒng),后置排氣法蘭連接高真空泵;
1) 前級(jí)真空:由旋片泵、羅茨泵構(gòu)成;
2) 高真空:擴(kuò)散泵、超低溫冷凝水捕集泵(Polycold) ,真空室和擴(kuò)散泵冷阱;
3) 抽氣系統(tǒng):由各級(jí)泵、管道和閥門,在系統(tǒng)的控制下完成啟動(dòng)、粗抽精抽、待命和維持流程。
項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
成膜系統(tǒng) | 1)電子槍,10KW,電子束偏轉(zhuǎn)角270度; 2)終端霍爾型離子源,3KW。 3)雙舟阻抗式蒸發(fā)源(共5KW),用于鍍制 AF膜層。 |
工作模式 | 離子清洗、 電子束蒸發(fā),石英晶體薄膜厚度控制器監(jiān)控膜厚并自動(dòng)判停。 |
工藝流程 | 裝夾-抽真空-離子清洗-電子槍蒸踱-阻抗式蒸發(fā)AF- 進(jìn)氣、 出爐。 |
功率 | 總功率 120KW,平均功率60KW |
設(shè)備外尺寸及總重 | 1)主框架及控制柜,不開門 W5600×D6300×H3170,開門 W5600×D8500×H3170; 2)粗抽泵組及粗抽管占地:W2000×D1500; 3)主框架外部必要的操作和維護(hù)維護(hù)空間:水平方向外延伸 800mm;垂直向上延伸 400mm。 4)總重:15噸 |