一、熱導(dǎo)式氫氣傳感器 MTCS2601 描述:
MTCS2601 傳感器由基于 MEMS 技術(shù)的 4 個(gè) Ni-Pt 電阻組成的微機(jī)械的熱電導(dǎo)率傳感器。此傳感器安裝在小型的 SMD 封裝內(nèi)。同時(shí)結(jié)合了低功耗 CMOS 標(biāo)準(zhǔn)集成電路,非常適合 OEC廠商的泄漏檢測(cè),或者基于帕拉尼原理的真空度檢測(cè),需要超低功耗,長(zhǎng)壽命和免維護(hù)的產(chǎn)品。適用于惡劣環(huán)境下初級(jí)壓力控制,需要功耗和尺寸的限制,或者是氣體泄漏或者水分,或者侵入。
二、 熱導(dǎo)式氫氣傳感器 MTCS2601特點(diǎn):
MEMS 傳感器遵循沒有化學(xué)反應(yīng)的物理皮拉尼原理,基于氣體熱導(dǎo)率變化對(duì)于壓力
測(cè)量范圍:0.0001~1000mbar,可重復(fù)性
硅晶片上有加熱電阻,并且有優(yōu)異的溫度補(bǔ)償
超小的傳感器氣體體積例如<0.1cm3
穩(wěn)定和長(zhǎng)的 MTBF(>30000 小時(shí)) ,基于物理阻抗感應(yīng)原理
超低功耗消耗(<6mW),由于使用了帶小加熱元件的 MEMS 傳感器
超快響應(yīng)時(shí)間<50mS
對(duì)安裝位置不敏感
可以使用在串?dāng)_氣體環(huán)境中
與一個(gè)簡(jiǎn)單恒定的溫度電路兼容
三、 熱導(dǎo)式氫氣傳感器 MTCS2601應(yīng)用:
1.作為氣體濃度測(cè)量傳感器的應(yīng)用:
室內(nèi)外空氣中H2、CH4、CO2、LPG氣體監(jiān)測(cè)
•食品工業(yè)的過程控制(例如碳酸飲料中二氧化碳的測(cè)量)
•用于燃料電池的氫傳感器
•沼氣廠中CH4的測(cè)量
•檢測(cè)制冷氣體(CFC、PFC、HFCs等)
•電子產(chǎn)品(例如潛水設(shè)備的氦氣控制)
•呼吸系統(tǒng)監(jiān)測(cè)(醫(yī)療)
•控制在惰性氣體下運(yùn)行的封閉系統(tǒng)中的泄漏(例如應(yīng)變計(jì)、硬盤質(zhì)量控制等)