半導(dǎo)體充氮烘箱,氮?dú)饪灸z烘箱
精密烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
半導(dǎo)體充氮烘箱,氮?dú)饪灸z烘箱
2.1溫度范圍: RT+10~250℃;
2.2溫度均勻度:≤±1.5%℃;
2.3升溫速度:0-5℃/min;
2.4潔凈度:無(wú)發(fā)塵材料,可達(dá)使用環(huán)境潔凈等級(jí);
2.5工作尺寸:D450×W450×H450mm,D500×W600×H750mm;多尺寸定制
2.6電源:AC220V/50HZ, 4.0KW ;
2.7 計(jì)時(shí)功能:具有獨(dú)立的計(jì)時(shí)器,計(jì)時(shí)復(fù)位開(kāi)關(guān),計(jì)時(shí)報(bào)警器;
2.8 進(jìn)氣口:φ6mmN2進(jìn)氣、流量計(jì)控制0-250ML可調(diào);
2.9 安全保護(hù)功能:超溫保護(hù),電機(jī)過(guò)熱保護(hù),過(guò)流保護(hù),電磁門鎖(防止高溫開(kāi)門),三色燈指示。
氮?dú)饪灸z烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。烘箱內(nèi)部整機(jī)為不銹鋼結(jié)構(gòu),全部采用無(wú)塵材料,箱內(nèi)持續(xù)充氮,使烘箱工作室內(nèi)處于潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動(dòng)控制,并有自動(dòng)恒溫及時(shí)間控制裝置,并附設(shè)有超溫自動(dòng)停電及報(bào)警電路,控制可靠,使用安全。