設備特點
此款1700℃高溫CVD系統(tǒng),是由1700度管式爐、三路質量流量計系統(tǒng)以及國產高真空系統(tǒng)(或選配低真空系統(tǒng))所組成。此設備主要用于:真空或氣氛燒結、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實驗環(huán)境. 設備技術成熟、質量可靠,溫場均勻,結構合理,氣路選用液晶屏觸摸界面,使得操作異常簡單、方便;設備的各項技術參數(shù),30段可編程溫控系統(tǒng)更是一目了然,使整個實驗的運行狀態(tài)盡在您的掌控之中。
加熱區(qū)參數(shù) | 爐管尺寸:Φ60/80×1000mm(管徑可選) 加熱元件:硅鉬棒 加熱區(qū)長度:300mm 推薦升溫速度: 1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min 額定功率:5.2 KW 外型尺寸:610×440×720 mm 標準配件:高純剛玉管1支,氧化鋁管堵2對,不銹鋼法蘭1套,氟膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支,小保險1個; 密封系統(tǒng):爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭) 端口可按實際使用擴展。 |
氣路系統(tǒng)參數(shù)
| 質量流量計參考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可選) 準確度:±1.5% 線性:±0.5~1.5% 重復精度:±0.2% 響應時間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec 工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa Z大壓力:3MPa 接口:Φ6,1/4'' 顯示:4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體 內外雙拋不銹鋼管:Φ6 壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥:Φ6 連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。 可選配一路、兩路、三路、四路、五路等以上質量流量計。 |
低真空系統(tǒng)參數(shù)
| 國產油泵型號:BSV-10 抽速:10m3/h 極限真空度:5*10-1pa 電源:220v 50hz 電機功率:0.4kw 進排氣連接口:KF25 用油量:1.1L 電機轉速:1440rpm 工作環(huán)境溫度:5-40℃ 噪音:≤56db 電阻真空計參數(shù): 1.配用規(guī)管:ZJ-52T電阻規(guī), 2.測量范圍: 10 5 ~10 -1 Pa, 3.測量路數(shù): 1路 4.控制范圍: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa, 5.控制方式:繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載, 6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz, 7.功耗: 20W 采用波紋管手動擋板閥與真空系統(tǒng)相連接。 |
高真空系統(tǒng)參數(shù)
| 空氣相對濕度:≤85% 工作電壓:AC220V±10% 50/60HZ 功率:1KW 系統(tǒng)整體極限真空度:10-5Pa 實驗真空度:10-3Pa 外形尺寸:850×600×650mm 機械泵: 抽氣速率:10m3/h 容油量:1.1L 電機功率:400W 極限壓強:6×10-2Pa 分子泵: 抽氣速率:100L/S 極限壓強:6×10-6Pa 啟動時間:<2min 額定轉速:4300轉/分 冷卻方式:環(huán)境溫度5-32℃時,風冷;5-40℃時,水冷。 分子泵控制器: 電壓:220V±22V 啟動電流:≤7A 輸入頻率:47HZ—63HZ Z大輸出功率:≤150W Z大加速電壓:≤40V 加速時間:≤3min 頻率(雙速):高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ 復合真空計: 測量路數(shù):2路(電阻規(guī)、電離規(guī)各1路) 工作模式:手動/自動 電阻單元參數(shù) 規(guī)管型號:ZJ-52T電阻規(guī) 測量范圍:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 電離單元參數(shù) 規(guī)管型號:ZJ-27電離規(guī) 可測范圍:5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa 規(guī)管除氣方式:焦耳去氣 其他參數(shù) 控制路數(shù):4路 控制方式:點動或區(qū)域控制/帶掉電記憶 控制精度:±1% 采樣時間:1S 電源:220V±10% 50HZ 功耗:50W 使用環(huán)境溫度:0℃~45℃ 濕度:≤85% 連接管路: 采用全不銹鋼,電拋光制作,零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10-9Pa.m3/s 采用波紋管手動擋板閥與真空系統(tǒng)相連接。
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備注: | 可根據(jù)工藝要求選配低真空或高真空系統(tǒng)。 |