液相滲硅爐技術(shù)特征
電阻爐可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫,溫度均勻性好;
電阻爐采用頂立科技專屬超高溫、大電流引電技術(shù),能在高溫條件下長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定使用,也可采用感應(yīng)加熱方式;
可選配全密閉馬弗室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);
多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,易清理;
適于工藝氣氛:真空/N2/Ar。
液相滲硅爐產(chǎn)品規(guī)格
參數(shù)/型號(hào) | VSII-060609 | VSII-101015 | VSII-121220 | VSII-151530 | ISII-0610 | ISII-1120 | ISII-1320 | ISII-1520 |
工作區(qū)尺寸 W×H×L(mm) | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 600×1000 | 1100×2000 | 1300×2000 | 1500×2000 |
溫度(℃) | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 |
溫度均勻性(℃) | ±5 | ±7.5 | ±10 | ±15 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
極限真空度(Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
液相滲硅爐配置選擇
結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開(kāi)門/門;立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式:手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC
熱電偶:C分度號(hào)