儀器介紹
通常的被動(dòng)減振體系如圖所示,由需要減振的裝置(mass M)和一個(gè)彈簧阻尼單元組成,它可以減小來自地板的高頻振動(dòng)。但由于這種體系會(huì)在本征頻率時(shí)引起共振而增加振動(dòng),通常被動(dòng)減振體系會(huì)設(shè)計(jì)成2 Hz 到5 Hz的本征頻率和1%到5%的輕微阻尼。主動(dòng)減振體系是用一個(gè)調(diào)節(jié)器代替了粘滯阻尼器,根據(jù)sky-hook 阻尼控制理論,將減振裝置(mass M)速度的比例量作為反饋?zhàn)饔糜跍p振裝置,這樣大大提高了減振的效果。
應(yīng)用領(lǐng)域
• 掃描探針顯微技術(shù)(AFM, STM)
• 納米力學(xué)探針
• 掃描電子顯微技術(shù)(SEM, FE-SEM)
• 共聚焦顯微術(shù)
• 超高真空掃描隧道顯微術(shù)(UHV-STM)
• 激光掃描顯微鏡
• 液晶生產(chǎn)設(shè)備
• 半導(dǎo)體檢測(cè)儀器
• 膜片鉗 (Patch-Clamp)技術(shù)
• 光學(xué)輪廓儀
• 生命科學(xué)Screening stations
• 顯微硬度檢測(cè)儀
• 光學(xué)干涉儀
• 超微量天平
性能特點(diǎn)
?安裝方便
?操作簡(jiǎn)單
?低頻振動(dòng)效果猶佳