產(chǎn)品特點:
1. 垂直反應器的設計可使等離子密度高;對稱的微波發(fā)生裝置,使產(chǎn)生的等離子環(huán)境更均勻。
2. 微波等離子體氣相沉積爐的諧振腔內(nèi)沒有內(nèi)部電極,可以避免電極放電所產(chǎn)生的污染,而且,它的運行氣壓范圍比較寬,所產(chǎn)生等離子體密度高、區(qū)域大,穩(wěn)定度高,且不與真空器壁接觸,從而避免了器壁對薄膜的污染。
技術參數(shù):
型號/model | WBMW-DLZ3 |
可加熱材料 | 非易燃易爆的任何材料 |
微波頻率 | 2.45GHZ±50MHz |
加熱方式 | 純微波加熱 |
功率/KW | 3 (功率可調(diào)) |
工作溫度/℃ | 1200 |
長期工作溫度/℃ | ≤1100 |
溫度測試元件 | 微波場專用傳感器/紅外測溫可選 |
控溫精度/℃ | ±2(微波場專用傳感器) |
石英管尺寸(外徑/內(nèi)經(jīng)X長度)/mm | φ102/φ92x1000 |
真空系統(tǒng)配置(可選) | 簡單機械泵抽真空和不銹鋼法蘭; 10-1Pa真空用高檔機械泵及真空計; 10-2Pa真空用高檔機械泵、擴散泵及真空計; 10-3Pa真空用高檔機械泵、分子泵及真空計; |
升溫速率(標配) | 0~1000℃/min 任意設定,可編程,分段加熱 |
外型尺寸(長x寬x高)/mm | 1000´750´1830 |
微波泄漏量/ mW/㎝ | ≤0.4 |
提供相關配件 | 高溫手套×1、中文說明書×1 |
保質(zhì)期 | 整機免費保修1年 |