輸入壓力:≤0.6Mpa
輸出流量范圍:0-300ml/min 0-500ml/min 0-1000ml/min 0-2000ml/min
氣密性:0.4Mpa/cm2
穩(wěn)定性:在15-30分鐘內(nèi)其流量變化不大于1.5%ml
安裝尺寸:外型尺寸:Φ38×103 安裝孔:Φ12.5 進(jìn)出氣外接頭:M8×1(一進(jìn)兩出)
應(yīng)用范圍:He、H2、Ar、Air等非腐性氣體
輸出流量:0-300ml/min(100KPa,N2)
穩(wěn)流精度:≦0.5%
穩(wěn)定性:在15~30分鐘內(nèi)其流量變化不大于1.5%ml