產(chǎn)品特點(diǎn)：

•真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管連接；

•兩個(gè)爐體在一個(gè)滑軌上，可通過爐體的滑動(dòng)達(dá)到對(duì)樣品快速加熱和快速冷卻的效果!

加熱爐參數(shù)：

•連續(xù)工作溫度：1100℃

•兩個(gè)爐體都可設(shè)置30段升降溫程序

•高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長(zhǎng)爐膛使用壽命）

•電源：AC220，50Hz   功率：3KW

手套箱參數(shù):

•帶有除水系統(tǒng)：保持水含量< 2 ppm

•真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管連接

射頻電源：

真空系統(tǒng)：

•·采用TRP-12的雙旋真空泵；

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

•真空度可達(dá)10-2Torr。

供氣系統(tǒng)（可選）：

•客戶可選購四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;

•流量范圍：

•電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

•氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

•不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出；

• PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

產(chǎn)品尺寸：

爐體尺寸：1600mm(L) -430mm(W)-500mm(H)

手套箱尺寸：780mm(L)-700mm(W)-650mm(H)

質(zhì)保：

一年保質(zhì)期，終身維護(hù)，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件