GEMU蓋米 53電動(dòng)控制隔膜截止閥
用于半導(dǎo)體行業(yè)的超純應(yīng)用的控制閥
帶步進(jìn)電機(jī)的高分辨率線性執(zhí)行器
基于iComLine系列的隔膜截止閥
經(jīng)過(guò)測(cè)試的塞子隔膜設(shè)計(jì)
所有介質(zhì)潤(rùn)濕的部件均由PFA或PTFE制成
一百萬(wàn)個(gè)合格的控制開(kāi)關(guān)周期
潔凈室制造(HP版),符合SEMI F 57
連接方式:喇叭口;PrimeLock®;
執(zhí)行器:電動(dòng)
閥體材料:PFA;PTFE TFM™
工作壓力:6巴
介質(zhì)溫度:10°C-150°C
公稱尺寸:DN 8(1/4''); DN 10(3/8英寸); DN 15(1/2英寸); DN 20(3/4英寸)