向水中投加臭氧，工藝氣體的起始濃度在4.17×10-4mol/L（20g/m3）數(shù)量級。假設(shè)一般接觸裝置的實際效率90%，尾氣中臭氧濃度可能達(dá)到4.17×10-5mol/L（2g/m3）。在重復(fù)噴射或預(yù)臭氧化中，尾氣中的最終損耗能達(dá)到4.17×10-6~1.04×10-5mol/L（0.2~0.5g/m3）的程度。
臭氧的閾限值（TLV）為4.46×10-9mol/L，或大約0.2mg/m3，而當(dāng)停留時間短于30min時，可允許1.25×10—8mol／L(0.6mg／m3)的濃度。臭氧的毒性特別是環(huán)境濃度高于TLV或容許濃度值(MAC)的毒性另有文獻(xiàn)評論。
有關(guān)操作區(qū)和設(shè)備的安全預(yù)防措施也必須加以考慮，這些措施包括工作室的適當(dāng)通風(fēng)，與接觸池水力連接嚴(yán)實，接觸池的和管路泄漏；并要采取適當(dāng)措施將尾氣中的臭氧分解。
2、臭氧尾氣處理方法
(1)預(yù)臭氧化；
(2)尾氣循環(huán)利用；
(3)稀釋后排放；
(4)淋洗和(或)化學(xué)捕獲；
(5)熱分解；
(6)在可燃載體上吸附和反應(yīng)；
(7)催化分解；
(8)兼有分解和(或)隨后分解的吸收。
事實上，當(dāng)前，吸附式、熱分解是采用泛的方法。
熱分解法
熱分解法是當(dāng)前用于消除臭氧處理廠尾氣所含臭氧使用泛的技術(shù)。可采用的主要工藝有三種：
(1)單通道電阻加熱；
(2)通過熱交換器加熱；
(3)加熱并過熱燃燒。
