產(chǎn)品介紹:
SiC的物理和電學(xué)屬性使其成為短波長(zhǎng)光電、高溫、耐輻射、高功率/高頻率電子器件的*半導(dǎo)體材料。然而生長(zhǎng)優(yōu)質(zhì)的SiC單晶非常困難,其中*要素就取決于SiC晶種的品質(zhì)。晶種的類型、表面性質(zhì)和吸附變化*地影響著SiC晶體的生長(zhǎng)類型、缺陷結(jié)構(gòu)以及電學(xué)性質(zhì)等等。
合能陽(yáng)光提供的SiC晶種,可充分滿足不同需求的客戶,優(yōu)質(zhì)的晶種品質(zhì)為客戶SiC長(zhǎng)晶的成品率與晶片質(zhì)量提供了可靠的保障。
物理性質(zhì):
標(biāo)準(zhǔn)參數(shù):
*可以根據(jù)客戶需求提供不同品質(zhì)的晶種。Micropipe密度,標(biāo)準(zhǔn)控制在30/cm2以內(nèi),高品質(zhì)可以控制在5/cm2以內(nèi)。
技術(shù)參數(shù):
■ 系統(tǒng)重復(fù)性:300~400nm <0.6%
400~1000nm <0.3%
1000nm以上<0.6%
■ 測(cè)試光斑尺寸2mm~10mm
■ 測(cè)試速度:?jiǎn)未喂庾V掃描<1min;
典型客戶:
美國(guó),歐洲,亞洲及國(guó)內(nèi)SiC襯底企業(yè)。