硅晶片專用自動噴砂機(jī)是針對3英寸及4英寸硅晶片自動噴砂加工而設(shè)計制作的專用噴砂設(shè)備。原理是利用壓縮空氣在噴槍內(nèi)高速流動產(chǎn)生的負(fù)壓引射作用,將磨料(噴砂介質(zhì))通過砂管引入噴槍,隨氣流高速噴射到工件表面,實現(xiàn)噴砂效果。本設(shè)備具有加工效率高,操作簡單,節(jié)約能耗,環(huán)保無污染,噴砂加工后的產(chǎn)品表面清潔、無粘附雜物等顯著特點;最重要的是本設(shè)備采用專用履帶輸送+工件吸附室,有效的避免硅晶片在噴砂過程中由于高速氣流的沖擊導(dǎo)致硅晶片移位或破碎等情況。吸附力可通過吸附風(fēng)機(jī)變頻來控制。自動噴砂機(jī)避免了手工噴砂效果不勻、存在色差、難以保證質(zhì)量等問題。本設(shè)備為密閉內(nèi)循環(huán)艙式噴砂機(jī),采用變頻調(diào)速輸送帶,配置專業(yè)的旋風(fēng)分離器,可實現(xiàn)磨料與粉塵的有效分離,保證產(chǎn)品加工的高質(zhì)高效,同時限度節(jié)省磨料的消耗。獨(dú)立的抽風(fēng)除塵系統(tǒng)及工件吸附除塵器,能有效地清理室體散布的粉塵,防止粉塵污染。
該噴砂機(jī)根據(jù)工藝需求配置14支噴槍。生產(chǎn)過程中,工件直接放在輸送履帶上,勻速通過噴砂室;噴槍在電機(jī)驅(qū)動下隨擺動機(jī)構(gòu)作往復(fù)擺動噴砂,能保證被加工表面均勻一致,加工完畢,工件通過吹凈室由風(fēng)槍吹凈表面余砂后由輸送線另一端輸出。