數(shù)字式小量程熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)DC-S030C/M主要應(yīng)用在量程范圍從5SCCM--50SLM之間氣體流量的測(cè)量和控制，產(chǎn)品耐壓能達(dá)5Mpa，采用新型傳感制作工藝，具有響應(yīng)速度快、準(zhǔn)確度高、流量控制穩(wěn)定、耐壓高、線性度好等優(yōu)點(diǎn)，適用于絕大多數(shù)干燥、干凈的氣體（及少數(shù)腐蝕性氣體）。
性能特點(diǎn)：
1、響應(yīng)速度快 2、耐壓5Mpa
3、抗干擾性強(qiáng) 4、數(shù)字通信模式
5、流量控制精準(zhǔn) 6、數(shù)據(jù)傳輸距離遠(yuǎn)
技術(shù)參數(shù)：
氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)出廠通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。
質(zhì)量流量單位：SCCM（標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘） SLM（標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘）
標(biāo)準(zhǔn)狀況：溫度--293.15K(20℃) 壓力--101325Pa（760mmHg）
F.S（Full Scale）表示滿量程
型號(hào) | DC-S030C | DC-S030M |
流量規(guī)格 | 5SCCM---50SLM | |
控制量程（N2) | 2—99% | 1—99% |
精度 | ≤±1%F.S | |
線性 | ≤±0.5%F.S | |
重復(fù)性 | ≤±0.2%F.S | |
閥門類型 | 常閉閥 | |
響應(yīng)時(shí)間 | 1—2S | |
耐壓 | 50Bar | |
通訊信號(hào) | 模擬通訊 0—5V或4—20mA 數(shù)字通訊 RS485 | |
供電方式 | ﹢14VDC—27VDC（300mA) | |
泄露率 | 1X10-9atm.cc/sec.He | |
數(shù)字式小量程熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)DC-S030C/M應(yīng)用行業(yè)：廣泛應(yīng)用于石油化工、大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、研究所、航空航天、食品制造業(yè)、醫(yī)藥 制造業(yè)、火電、核電、天然氣加氣站、半導(dǎo)體、太陽能、 液晶面板制造等行業(yè)的高科技公司。根據(jù)使用介質(zhì)，選定丁晴橡膠或氟橡膠等不同的密封材質(zhì)，接頭連接方式靈活多樣，可按照用戶使用定制。
