主要通過(guò)低溫吸收，變溫及變壓吸附等工藝，將氫氣及氯硅烷從工藝廢氣中分離出來(lái)以達(dá)到循環(huán)利用的目的。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)：
u 氫氣回收率高，氫氣回收率≥80%；
u 通過(guò)STC吸收原料氣中的氯硅烷，達(dá)到回收氯硅烷，原料重復(fù)利用；
u 通過(guò)干燥吸附-再生-二次吸附，限度的回收氫氣，減少氫氣排放，同時(shí)提高氫氣的純度；
u 利用變壓吸附的廢氣對(duì)變溫吸附設(shè)備進(jìn)行反吹，節(jié)約公用工程用氣；
u 采用全新的脫氧技術(shù)，節(jié)能環(huán)保；
采用變溫吸附和變壓吸附串聯(lián)操作，能夠快速有效地達(dá)到氫氣提純的目的；此方法廢氣處理量大。
