1.粗糙度測量功能∶
從0.1nm級別的超光滑表面到數(shù)十微米級別的粗糙表面，儀器均能實現(xiàn)高精度測量，支持ISO/ASMEEUR/GBT等國內(nèi)外標準的數(shù)百種2D、3D參數(shù)。
2.輪廓尺寸測量功能∶
?支持納米級高度測量和0.4um級別的線寬測量，支持80倍的槽深寬比測量，具備點、線、面相關(guān)的寬度、高度、角度、直徑等各類輪廓尺寸測量功能；
3.自動多區(qū)域測量功能∶
?實現(xiàn)方形、（橢）圓形外觀樣品的大范圍內(nèi)等分距離的多個小區(qū)域的自動測量；
4.自動拼接功能∶
??當待測區(qū)域大于鏡頭單視場尺寸時，采用自動拼接功能設(shè)置好起點和終點即可一鍵完成大區(qū)域范圍的測量，同時可根據(jù)樣品表面質(zhì)量選擇高精度和高速掃描兩種模式;
5.預(yù)編程分析功能∶
?可在測量前設(shè)置好數(shù)據(jù)處理和分析流程，實現(xiàn)測量到分析的一鍵。式操作，有效縮減操作步驟；
6.同步分析功能∶
視圖與分析工具同框設(shè)計，支持視圖直接操作，分析工具實時更新分析結(jié)果，實現(xiàn)分析過程的所見即所得，大大縮減操作時間。
復(fù)合型掃描算法：集合了PSI高精度&VSI大范圍雙重優(yōu)點的 EPSI掃描算法，有效覆蓋從超光滑到粗糙等 所有類型樣品，無須切換，操作便捷；
自動測量功能：批量樣品測量，無須精確對焦， 即可一鍵完成測量分析；
雙重防撞保護功能：Z軸上裝有防撞機械電子傳感器、 軟件ZSTOP防撞保護功能，雙重保護， 多一重安心。
地面&聲波振動噪聲隔振模塊：氣浮隔振系統(tǒng)&經(jīng)過內(nèi)部抗振處理的測頭， 能夠有效隔離地面振動噪聲和空氣中傳播的聲 波振動噪聲，保證在嘈雜的車間環(huán)境也可正常工作；
環(huán)境噪聲檢測功能：*的環(huán)境噪聲評價功能能 夠定量檢測儀器當前所處環(huán)境的 綜合噪聲數(shù)值，對儀器的調(diào)試、測試可靠性提供指導(dǎo)；
完善的售后服務(wù)體系：遵循客戶的原則，設(shè)備故障時間遠程&現(xiàn)場解決，軟件免費升級。
| 型號 | HSR-05 | HSR-05Pro | HSR-08 | |
| 光源 | 白光LED | |||
| 標配影像系統(tǒng) | 1024×1024 | |||
| 標配干涉物鏡 | 10×（2.5×，5×，20×，50×，100×可選） | |||
| 標配視場 | 0.98*0.98mm | |||
| 物鏡塔臺 | 3孔手動 | |||
| XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200mm | 300×300mm | 400×400mm |
| 移動范圍 | 140×110mm | 200×200mm | 300×300mm | |
| 負載 | 10kg | |||
| 控制方式 | 電動 | |||
| 水平調(diào)整 | ±5° | ±6° | ||
| Z軸聚焦 | 行程 | 100mm | ||
| 控制方式 | 電動 | |||
| Z向掃描范圍 | 10 mm | |||
| Z向分辨率 | 0.1nm | |||
| 可測樣品反射率 | 0.05%~99% | |||
| 粗糙度RMS重復(fù)性 | 0.005nm | |||
| 臺階測量 | 準確度 | 重復(fù)性 | ||
| 0.3% 1σ | 0.08% 1σ | |||
注：粗糙度性能參數(shù)依據(jù) ISO25178-2012 國際標準在實驗室環(huán)境下測量Sa為0.2nm硅晶片Sq 參數(shù)獲得；臺階高性能參數(shù)是依據(jù) ISO4287-1997在實驗室環(huán)境下測量4.7µm臺階高標準塊獲得。
可廣泛應(yīng)用于對器件表面質(zhì)量要求的半導(dǎo)體、光學(xué)加工、3C玻璃屏、薄膜制備、微納器件、納米材料、薄膜制備、超精密加工等工業(yè)企業(yè)領(lǐng)域，以及高校、科研院所和計量機構(gòu)等研究、檢測型單位。
