簡介
Leica EM RES102 通過離子槍激發(fā)獲得離子束,以一定入射角度對樣品進行轟擊,以去除樣品表面原子,從而實現(xiàn)對樣品的離子束加工。Leica EM RES102主要功能為:對無機薄片樣品進行離子減薄,使得薄片樣品可被透射電子穿過,從而適宜TEM透射電子顯微鏡觀察;對無機塊狀樣品進行離子束拋光、離子束刻蝕,樣品表面離子清洗及斜坡切割,便于SEM掃描電子顯微鏡觀察樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息。
主要技術(shù)優(yōu)勢:
操作簡便
● 19“觸摸屏電腦控制單元,監(jiān)控并記錄制樣過程
● 內(nèi)置應(yīng)用參數(shù)庫
● 程序化制樣參數(shù)設(shè)定,加速初學者學習曲線
● 幫助文件幫助初學者以及對設(shè)備進行維護
高效/節(jié)約成本
● TEM,SEM和LM應(yīng)用功能集于一體
● TEM樣品制備獲得的薄區(qū)大,有效提高了TEM樣品制備效率
● SEM樣品制備可達25mm樣品直徑
● 預抽室系統(tǒng)幫助快速交換樣品,減少等待時間,并保證了樣品室的持續(xù)高真空
● 局域網(wǎng)功能方便遠程操控
● LN2樣品臺使得溫度敏感型樣品可在優(yōu)化條件下進行離子研磨
安全
● 精確的自動終止功能,適用于光學終止或透明樣品的法拉第杯終止
● 在制樣過程中可以時時存儲活圖像或視頻
● 離子源和樣品運動馬達驅(qū)動,程序化控制,因而可獲得重復性制樣結(jié)果
主要技術(shù)參數(shù):
● 具有2把離子槍,離子束能量為0.8keV-10keV,相對位置,可分別±45°傾斜,樣品臺傾斜角度-120°至 210°,離子束加工角度0°至90°,樣品平面擺動角度<360°,垂直擺動距離±5mm。實際操作參數(shù)根據(jù)具體應(yīng)用需要選擇(系統(tǒng)備有參考參數(shù),也可自行設(shè)置參數(shù)并存儲)
● 可選配樣品臺:TEM樣品臺(φ3.0mm或φ2.3mm),F(xiàn)IB樣品清洗臺,SEM樣品臺,斜坡切割樣品臺(對樣品35°或90°斜坡切割)等
● SEM樣品臺可容納樣品尺寸:直徑25mm,高度12mm
● 全無油真空系統(tǒng),樣品室?guī)в蓄A抽室,保證樣品交換時間<1分鐘
● 全電腦控制,觸摸屏操作界面,內(nèi)置視頻觀察系統(tǒng),可實時觀察樣品處理過程