ATTO10+1800手套箱一體鍍膜機(jī)
產(chǎn)品特點(diǎn)
既保證了高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,又在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測(cè)。
該系統(tǒng)具有高真空壓力和抽空時(shí)間測(cè)試。
具有*編程能力的行業(yè)軟件控制系統(tǒng),系統(tǒng)的靈活性,
可以被配置為濺射系統(tǒng),電子束系統(tǒng),OLED系統(tǒng),熱蒸發(fā)系統(tǒng)或這些過(guò)程的任何組合。
可以集成各種光學(xué)和光譜技術(shù),并將系統(tǒng)集成到需要惰性氣氛的研究手套箱中。
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體工業(yè)中MOCVD技術(shù)、微電子半導(dǎo)體、OLED/PLED開(kāi)發(fā)與生產(chǎn)、鋰離子電池開(kāi)發(fā)與生產(chǎn)、納米材料研究、催化劑研究、鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的研發(fā)。