1 主箱體
箱體材料:304不銹鋼厚度20mm
主箱體尺寸:1000*750*650 mm
前窗:傾斜視窗,透明鋼化安全玻璃厚度10mm
手套:進(jìn)口丁基手套,手套口材料為陽極氧化鋁,O型圈密封
過濾器:規(guī)格0.3微米,1個(gè)入口和一個(gè)氣體出口
擱物架:不銹鋼材料,可上下調(diào)節(jié)
箱體照明:無紫外線白色光
接口:多個(gè)真空備用KF40接口
2 過渡艙
尺寸:400*300*650mm 內(nèi)置滑動(dòng)托盤
3 支架
尺寸:1000*750*800 mm
4 氣體凈化循環(huán)系統(tǒng)
凈化柱 循環(huán)系統(tǒng)
功能:氣體密封,除水,除氧 工作氣體:氮?dú)?,氬?nbsp;
容器材料:304不銹鋼 循環(huán)能力:集成風(fēng)機(jī)流量90m^3/h
凈化材料:銅觸媒分子篩 再生操作:西門子PLC自動(dòng)控制再生過程
水氧指標(biāo):<1ppm 再生氣體:工作氣體和氫氣混合氣體(氫氣5-10%)
5 可選附件
水分析儀
氧分析儀
有機(jī)溶劑吸附系統(tǒng)
真空控制系統(tǒng)
集成式低溫冰箱、烘箱
電源:220V(AC) 50HZ
功率:3000W電源:220V(AC) 50HZ
氣體:工作氣體為氮?dú)?,氬氣等惰性氣體再生氣體為惰性氣體和氫氣混合氣體(氫氣5-10%)
標(biāo)準(zhǔn)情況下箱體內(nèi)水含量(標(biāo)準(zhǔn)情況為1個(gè)大氣壓,20渡恒溫):<1pmm
標(biāo)準(zhǔn)情況下箱體內(nèi)氧含量(標(biāo)準(zhǔn)情況為1個(gè)大氣壓,20渡恒溫):<1pmm
箱體內(nèi)承受最小的真空值:>100pa
泄露率:<0.001vol%/h