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環(huán)保APP正式上線

HTM PECVD設(shè)備

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱拓荊科技股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2022/8/30 10:39:08
  • 訪問次數(shù)290
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拓荊科技股份有限公司成立于2010年4月,是國家,主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)。公司多次承擔(dān)國家重大專項。2016年、2017年、2019年獲評中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會授予的“中國半導(dǎo)體設(shè)備五強企業(yè)”稱號。公司于2020年在北京、上海、海寧成立三家子公司。公司主要產(chǎn)品包括等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備、原子層沉積(ALD)設(shè)備和次常壓化學(xué)氣相沉積(SACVD)設(shè)備三個產(chǎn)品系列,擁有自主知識產(chǎn)權(quán),技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際同類產(chǎn)品*水平,產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路晶圓制造,以及TSV封裝、光波導(dǎo)、Micro-LED、OLED顯示等技術(shù)領(lǐng)域。公司在北京、上海、武漢、合肥、天津、中國臺灣等20多個地區(qū)的近40條生產(chǎn)線都設(shè)有技術(shù)服務(wù)中心,為客戶提供每周7天,每天24小時的技術(shù)服務(wù)。
產(chǎn)品介紹NF-300HHTM PECVD設(shè)備 產(chǎn)品介紹NF-300H 設(shè)備由拓荊科技承擔(dān)了國家十三五重大專項,自主研發(fā),擁有自主知識產(chǎn)權(quán)。應(yīng)用于128層及以上3D NAND閃存芯片的生產(chǎn)??蓪崿F(xiàn)SiO2、SiN(ONON)多層薄膜堆疊結(jié)構(gòu)和Thick TEOS 薄膜,在均勻性、顆粒度、粗糙度、應(yīng)力及產(chǎn)能等方面實現(xiàn)技術(shù)突破,設(shè)備性能指標(biāo)達(dá)同類產(chǎn)品水平......
HTM PECVD設(shè)備 產(chǎn)品信息
產(chǎn)品特點

NF-300H
HTM PECVD設(shè)備

產(chǎn)品特點
- 高產(chǎn)能設(shè)計和可實現(xiàn)多種薄膜沉積的快速切換
- 可實現(xiàn)多層SiO2,SiN(ONON)堆疊功能
- 滿足300-600℃高溫沉積需求
- PM腔內(nèi)可進(jìn)行多片wafer沉積和wafer自動升降旋轉(zhuǎn)功能
- 通過S2安全認(rèn)證

 
15168338725
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