產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
KJ-T1200-S5010LK1-L系列立式管式氣氛爐的設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)在真空或氣氛保護(hù)條件下對(duì)樣品快速升降溫,四面加熱,溫場(chǎng)更均勻,立式結(jié)構(gòu)使得氣體排放更加順暢,爐體垂直安裝在可移動(dòng)支架上有利于爐管取放溫度的均勻性,可以預(yù)抽真空并能通氫氣、氬氣、氮?dú)?、氧氣、一氧化碳、氨分解氣等氣體,該爐具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn),特別適合薄膜生長(zhǎng)、電極測(cè)試、氧化物晶體生長(zhǎng)、快速退火等實(shí)驗(yàn)需要!
適用范圍:
立式管式氣氛爐主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,應(yīng)用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴(kuò)散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱(chēng) | 1200度立式管式氣氛爐 |
產(chǎn)品型號(hào) | KJ-T1200-S5010LK1 |
爐管尺寸 | Φ50×1000mm |
溫區(qū)長(zhǎng)度 | 440mm(更多規(guī)格可按照客戶(hù)要求定制) |
恒溫區(qū)長(zhǎng) | 200mm |
工作溫度 | 1100℃(此溫度為長(zhǎng)期加熱溫度) |
溫度 | 1200℃ |
控溫方式 | 智能化30段可編程控制(用戶(hù)可選配液晶觸摸屏顯示) |
控溫精度 | ±1℃ |
溫控保護(hù) | 具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
加熱速率 | 0~20℃/分 |
加熱元件 | 含鉬合金加熱絲 |
工作電壓 | AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶(hù)可選擇定制) |
功率 | 3KW |
爐膛材料 | 采用多晶陶瓷纖維,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡,抗熱漲冷縮能力強(qiáng) |
法蘭接頭 | 標(biāo)配配有兩個(gè)不銹鋼真空法蘭,已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥。 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好、可保證12小時(shí)壓力表指針不偏轉(zhuǎn)。 |
真 空 度 | 雙極旋片機(jī)械泵:10^-2 torr |
供氣系統(tǒng) | 該爐配有浮子流量計(jì),客戶(hù)可通過(guò)浮子流量計(jì)或質(zhì)子流量計(jì)控制氣體的流速。 |
爐管材質(zhì) | 氣煉石英管 |
氣 密 性 | 4.03×10-3Pa |
測(cè)溫元件 | K型熱電偶測(cè)溫 |
凈 重 | 70KG |
提供相關(guān)配件 | 氣煉石英爐管、真空法蘭、高溫手套、坩堝鉤、爐塞 |
電氣認(rèn)證 | CE認(rèn)證 |
售后服務(wù) | 12個(gè)月質(zhì)保、終身保修 |
標(biāo)準(zhǔn)配件:
石英爐管×1 | 真空法蘭×1 | o型膠圈×2 |
高溫手套×1 | 坩堝鉤×1 | 熱電偶×1 |
內(nèi)六角扳手x1 | 爐塞×2 | 中文說(shuō)明書(shū)×1 |
注:爐管、坩堝可按用戶(hù)需求選配合適的款型
可選配件:
液晶觸摸控制儀
1.實(shí)現(xiàn)電爐的升溫、保溫、降溫工藝過(guò)程全自動(dòng)。
2.工藝人員可以將幾段程序編制成1條控溫曲線(xiàn),保存于觸摸屏內(nèi),帶密碼保護(hù)功能,可一次性編制多條曲線(xiàn)。
3.具備斷電記憶功能,查詢(xún)已完成的工藝階段。
4.現(xiàn)場(chǎng)操作人員需要調(diào)用某條溫控曲線(xiàn)時(shí),直接輸入曲線(xiàn)序列號(hào)即可調(diào)用該條曲線(xiàn),簡(jiǎn)單方便,杜絕錯(cuò)誤發(fā)生。
5.具備多組歷史數(shù)據(jù)記錄功能。
6.具備同時(shí)顯示多段溫度及時(shí)間功能。
多路質(zhì)子流量計(jì)
1.氣體從鋼瓶出來(lái),經(jīng)過(guò)減壓閥減壓,通過(guò)四氟管到供氣系統(tǒng)的入口,再經(jīng)過(guò)質(zhì)子流量計(jì)控制氣體流量,然后經(jīng)過(guò)混氣罐,再進(jìn)入爐子進(jìn)氣口,氣體從出氣管出來(lái),經(jīng)過(guò)三通閥門(mén),一端連接真空泵,一端連接出氣口。
2.混氣罐上接有壓力表,壓力表顯數(shù)盤(pán)與質(zhì)子流量計(jì)安裝在同一面板上。
3.每一條氣體管路均有一個(gè)高壓截止閥,安全有保證。
4.該氣路采用高精度氣體浮子流量計(jì),氣路內(nèi)部全采用四氟管,耐腐蝕性好。
5.所有接頭采用卡套連接,氣密性好,耐壓高。 。
耐高溫真空泵
該耐高溫真空泵采用內(nèi)置風(fēng)扇和大面積散熱的風(fēng)冷設(shè)計(jì),大幅度降低泵的表面溫升;采用耐高溫密封圈和進(jìn)口耐高溫泵油,更加適合真空管式爐的高溫使用環(huán)境。采用進(jìn)口原裝油封,確保整機(jī)長(zhǎng)期運(yùn)行時(shí)的可靠密封。泵體采用一體化設(shè)計(jì),零部件少,重復(fù)性好,外形緊湊,便于保養(yǎng)和維修。此外還內(nèi)置有齒輪泵和恒壓供油機(jī)構(gòu)強(qiáng)制供油,即便在高吸氣壓強(qiáng)下也能穩(wěn)定可靠地運(yùn)行。自動(dòng)防返油閥設(shè)計(jì),有效的保護(hù)了你的真空系統(tǒng)在停機(jī)后免受泵油的污染;該產(chǎn)品還設(shè)計(jì)有兩檔氣鎮(zhèn),可滿(mǎn)足不同工藝對(duì)蒸汽排出量的需求。
1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿(mǎn)后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶(hù)手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。