等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）技術(shù)是借助于輝光放電（等離子體）使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜技術(shù)生長(zhǎng)的一種系的制備技術(shù)。我公司依據(jù)實(shí)驗(yàn)要求設(shè)計(jì)制作該款設(shè)備以適應(yīng)各類薄膜研究的需要。
主要功能和特點(diǎn)：
1、采用專業(yè)加熱元件，爐膛保溫材料采用多晶纖維材料，保溫性能好，耐用，拉伸強(qiáng)度高，無雜球，純度高，節(jié)能效果明顯優(yōu)于國(guó)內(nèi)纖維材料。
2、整個(gè)爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu)，中間有氣隙隔離，即使?fàn)t膛溫度達(dá)到點(diǎn)，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
3、爐膛采用節(jié)能材料制作，整機(jī)能耗僅僅只有同等傳統(tǒng)電爐的1/3，節(jié)能環(huán)保。
4、超溫報(bào)警并斷電，漏電保護(hù)，操作安全可靠具有多重防護(hù)功能。
5、PECVD管式爐系統(tǒng)由：射頻電源，管式爐加熱區(qū)系統(tǒng)，質(zhì)子流量計(jì)供氣系統(tǒng)，真空系統(tǒng),氣體定量系 統(tǒng)組成。
產(chǎn)品參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 | PECVD | |
| 產(chǎn)品型號(hào) | KJ-PECVD | |
| 500W 射頻電源 | ||
| 匹配功率范圍 | 0-500W+1%可調(diào) | |
| 工作頻率 | 13.56MHZ +- 0.005% | |
| 反射功率 | 200W | |
| 匹配方式 | 自動(dòng) | |
| 輸出接口 | UHF或N型或7/16(L29) | |
| 冷卻 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | |
| 電壓頻率Contrmodel | 220V 50Hz | |
| 匹配阻抗范圍Matching impedance range | 實(shí)部0-80Ω 虛部-j200~+j200(可根據(jù)負(fù)載調(diào)節(jié)阻抗) Real part 0-80Ω imaginary part -j200~ +j200 (can be adjusted according to load impedance) | |
| 管式加熱系統(tǒng) | ||
| 滑道 | 帶滑道，可手動(dòng)滑動(dòng)爐膛，實(shí)現(xiàn)快速升溫或冷卻功能 | |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 300mm | |
| 爐管尺寸 | 60mm x1600mm 外徑x長(zhǎng) | |
| 爐管材質(zhì) | 高純石英管 （SiO2 ≥ 99.99%） | |
| 工作溫度 | ≤1100℃ | |
| 溫控系統(tǒng) | 智能化30段PID微電腦可編程自動(dòng)控制 | |
| 溫控精度 | ±1℃（具有超溫及斷偶報(bào)警功能） | |
| 加熱速率 | 建議0~10℃/min | |
| 加熱元件 | 電阻絲 | |
| 額定電壓 | 單相220V 50Hz | |
| 可通氣體 | 氮?dú)?、氬氣等惰性氣體 | |
| 測(cè)溫元件 | 熱電偶測(cè)溫 | |
| 殼體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu)帶風(fēng)冷系統(tǒng) | |
| 真空法蘭 | 法蘭一端帶1/4”卡套接頭進(jìn)氣口，60轉(zhuǎn)KF50快裝法蘭。另一端帶控壓閥,氣動(dòng)泄壓閥和放氣閥。 | |
| 供氣系統(tǒng) | 四路精密質(zhì)子流量計(jì)： 測(cè)量精度：±1.5% F.S. 流量范圍: 0~200 sccm（含10%甲烷的氬氣） 流量范圍: 0~200 sccm（含10%甲烷的氬氣） 流量范圍: 0~200 sccm（氬氣） 流量范圍: 0~500 sccm（含10%甲烷的氬氣） 通過觸屏來調(diào)節(jié)氣體流量 | |
| 真空系統(tǒng) | 旋片泵，真空度在空爐冷態(tài)可達(dá)10pa， 真空計(jì)：進(jìn)口數(shù)顯真空計(jì)實(shí)時(shí)顯示真空度，精度高。 | |
| 控壓系統(tǒng) | 控壓范圍 -20kpa 到 20kpa （也可按客戶要求設(shè)計(jì)） | |
| 自動(dòng)化控制 15”觸摸屏 | 觸摸屏界面集成控制爐子，真空泵，質(zhì)量流量計(jì)以及射頻電源。爐子部分需要先設(shè)好溫度時(shí)間曲線。集成控制部分可以控制溫度曲線的啟停，真空度，氣體流量，射頻功率和射頻啟停,泄壓閥等。 | |
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 數(shù)顯真空計(jì)2個(gè)，石英爐塞1對(duì)，高密封法蘭1對(duì)，氟膠密封圈2對(duì)，高溫坩堝鉤1把，拆卸法蘭六角扳手1把，保修卡說明書1份 | |
| 備注 | 法蘭，質(zhì)量流量計(jì)，閥門，管路等用316不銹鋼材質(zhì) | |
1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。
