KJ-T1200 CVD是一種管式爐，配備100mm直徑石英管、真空泵和五通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動系統(tǒng)。 它可以混合1-5種氣體用于CVD或擴(kuò)散。
技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 | 1200度CVD設(shè)備 | |
| 型號 | KJ-T1200 | |
| 部分：標(biāo)準(zhǔn)件 | ||
| Tube Furnace | 顯示 | 7”液晶觸摸屏 |
| 溫度 | 1200℃ | |
| 工作溫度 | ≤1100℃ | |
| 升溫速率 | 0~10℃/min | |
| 溫區(qū)長度 | 440mm | |
| 加熱元件 | 鉬電阻絲 | |
| 熱電偶 | K型 | |
| 溫度控制精度 | ±1℃ | |
| 爐管 | 100 x 1000mm (OD x minimum L) | |
| 材質(zhì)：石英管 | ||
| 溫度控制 | 通過可控硅功率控制進(jìn)行PID自動控制 | |
| 加熱曲線 | 30 步可編程 | |
| 真空法蘭 | 不銹鋼真空法蘭。 法蘭的一端有 1 個(gè)帶刺針閥，安裝有機(jī)械壓力表。 法蘭的另一端有一個(gè)帶倒鉤針閥的 KF25 端口 | |
| 功率 | 220V, 50 Hz, 單相. 4KW | |
| 真空泵 | 旋片真空泵 | 極限真空 10-3 托。 管內(nèi)的真空度約為 10-1 Torr。 （RM溫度和空管條件） 流量：2L/S 旋片真空泵將被設(shè)計(jì)成帶輪子的推車。 帶連接附件 包括數(shù)字真空計(jì) |
| 質(zhì)量流量計(jì) 帶液晶觸摸屏控制器 | 一個(gè)浮子流量計(jì)+五個(gè)精密質(zhì)量流量計(jì)： MFC 精度為：±1.5% F.S. MFC 1 用于氮?dú)猓簹怏w流量范圍為 0~100 sccm 氫氣用 MFC 2：氣體流量范圍 0~200 sccm MFC 3 for methan : 氣體流量范圍為 0~300 sccm 氬氣用 MFC 4：氣體流量范圍 0~400 sccm 氧氣用 MFC 5：氣體流量范圍 0~500 sccm 一個(gè)氣體混合罐（僅適用于5 MFC）安裝在底殼上，4個(gè)不銹鋼針閥安裝在底殼左側(cè)，用于手動控制4種氣體混合。 | |
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