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六通道高真空PECVD設備

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱鄭州科佳電爐有限公司
  • 品       牌
  • 型       號KJ-T1200-S
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/9/5 10:33:54
  • 訪問次數(shù)275
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事熱處理產品的研發(fā)、生產與銷售的。公司產品涵蓋箱式馬弗爐,管式電阻爐,真空爐,氣氛爐,CVD系統(tǒng),牙科爐,升降爐,軌道爐等,廣泛用于粉末冶金、真空釬焊、陶瓷燒結、電池材料干燥、金屬光亮處理、零部件退火、科學研究等多個領域。 十多年來,公司堅持以客戶需求為導向,致力于不斷提高產品品質和完善技術服務,憑借過硬的技術、豐富的實踐積累,先后研發(fā)出了一系列具有水準的實驗電爐和工業(yè)窯爐,并獲得多項產品的。公司的產品和服務受到眾多國內外客戶的肯定與贊賞,產品遠銷到美國、德國,意大利,法國、俄羅斯,加拿大、英國、澳大利亞,土耳其、印度、巴基斯坦、伊朗、南非、巴西、泰國、新加坡等三十多個國家和地區(qū)。 科佳電爐擁有完整、科學的質量管理體系,標準化的生產制造車間,具有年產1000臺電爐生產制造能力,生產規(guī)模位居,是國內具有影響力的實驗電爐、工業(yè)窯爐生產制造商。公司被評為,并聯(lián)合多所重點科研院校共同建立了多個技術研發(fā)項目,為每一位客戶提供高技術含量的產品解決方案和優(yōu)質的服務! 鄭州科佳電爐有限公司的誠信、產品品質和售前售后服務已獲得業(yè)界的廣泛認可,公司將繼續(xù)秉承以誠信廣交天下朋友,以品質贏取市場的理念,真誠希望與各界朋友,攜手共進,合作共贏!
產品介紹:六通道高真空PECVD系統(tǒng)是一款由1200度管式爐,等離子射頻電源,分子泵高真空,六通道氣路等組成的等離子化學氣相沉積系統(tǒng),加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究
六通道高真空PECVD設備 產品信息
產品介紹:   
     六通道高真空PECVD系統(tǒng)是一款由1200度管式爐,等離子射頻電源,分子泵高真空,六通道氣路等組成的等離子化學氣相沉積系統(tǒng),加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。

使用范圍:
  該系統(tǒng)廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。也可可應用于納米材料生長,石墨烯生成、金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復合薄膜等各種薄膜等,可制備出高質量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。

技術參數(shù):
產品名稱六通道高真空PECVD系統(tǒng)(CE認證)
管式爐部分
產品型號KJ-T1200-S60-6ZH-PE
爐管尺寸Φ60mmX1400mm
爐管材質石英管
加熱區(qū)400mm
工作溫度1100℃
溫度1200℃
溫控方式K型熱電偶
控制方式30段可編程序控溫
控溫精度±1℃
溫控保護具有超溫和斷偶保護功能
升溫速率0-20ºC/min  ,建議10ºC/min
加熱元件含鉬電阻絲
工作電壓AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制)
加熱功率3KW
爐膛材料氧化鋁多晶纖維
法蘭接頭標配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥
密封系統(tǒng)該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好。
選配輔助降溫風扇
                     真空系統(tǒng)部分
名稱真空系統(tǒng)
主要參數(shù)1.采用高真空分子泵組,極限真空度可達10-3pa
2.KF25快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連;
3.數(shù)字式真空顯示,其測量范圍為5×10-5- 1500mbar,測量精度高高
氣路系統(tǒng)部分
名稱六路質量流量計
主要參數(shù)六通道精密質量流量計:觸屏控制,數(shù)字顯示,自動控制。流量范圍流量范圍:
1.MFC 1-MFC6:0-1000sccm可調
2.一個混氣罐
3.6個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側,可手動控制6種氣體;
4.進出氣口:6進1出
流量控制:手動旋轉式調節(jié)
連接方式:雙卡套連接
等離子電源部分
名稱500W等離子電源
功率范圍0-500W(連續(xù)可調)
工作頻率13.56MHZ+0.005%
工作模式連續(xù)輸出
射頻輸出阻抗接口N-type,female(50Ω)
功率穩(wěn)定度≤2W
反射功率70W
電源保護設置DC過流保護,功放過溫保護,反射功率保護
供電電壓/頻率單相交流(187V-253V)50-60HZ
冷卻方式風冷
整機尺寸88X483X550 MM
整機重量13.5KG
認證*、CE認證
售后服務質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍)
更多規(guī)格可根據(jù)要求來定制

 

 

售后服務

 

 1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。

 

 

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