六通道高真空PECVD系統(tǒng)是一款由1200度管式爐,等離子射頻電源,分子泵高真空,六通道氣路等組成的等離子化學氣相沉積系統(tǒng),加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。
使用范圍:
該系統(tǒng)廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。也可可應用于納米材料生長,石墨烯生成、金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復合薄膜等各種薄膜等,可制備出高質量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。
技術參數(shù):
產品名稱 | 六通道高真空PECVD系統(tǒng)(CE認證) |
管式爐部分 | |
產品型號 | KJ-T1200-S60-6ZH-PE |
爐管尺寸 | Φ60mmX1400mm |
爐管材質 | 石英管 |
加熱區(qū) | 400mm |
工作溫度 | 1100℃ |
溫度 | 1200℃ |
溫控方式 | K型熱電偶 |
控制方式 | 30段可編程序控溫 |
控溫精度 | ±1℃ |
溫控保護 | 具有超溫和斷偶保護功能 |
升溫速率 | 0-20ºC/min ,建議10ºC/min |
加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
工作電壓 | AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制) |
加熱功率 | 3KW |
爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
法蘭接頭 | 標配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好。 |
選配 | 輔助降溫風扇 |
真空系統(tǒng)部分 | |
名稱 | 真空系統(tǒng) |
主要參數(shù) | 1.采用高真空分子泵組,極限真空度可達10-3pa 2.KF25快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連; 3.數(shù)字式真空顯示,其測量范圍為5×10-5- 1500mbar,測量精度高高 |
氣路系統(tǒng)部分 | |
名稱 | 六路質量流量計 |
主要參數(shù) | 六通道精密質量流量計:觸屏控制,數(shù)字顯示,自動控制。流量范圍流量范圍: 1.MFC 1-MFC6:0-1000sccm可調 2.一個混氣罐 3.6個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側,可手動控制6種氣體; 4.進出氣口:6進1出 流量控制:手動旋轉式調節(jié) 連接方式:雙卡套連接 |
等離子電源部分 | |
名稱 | 500W等離子電源 |
功率范圍 | 0-500W(連續(xù)可調) |
工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
工作模式 | 連續(xù)輸出 |
射頻輸出阻抗接口 | N-type,female(50Ω) |
功率穩(wěn)定度 | ≤2W |
反射功率 | 70W |
電源保護設置 | DC過流保護,功放過溫保護,反射功率保護 |
供電電壓/頻率 | 單相交流(187V-253V)50-60HZ |
冷卻方式 | 風冷 |
整機尺寸 | 88X483X550 MM |
整機重量 | 13.5KG |
認證 | *、CE認證 |
售后服務 | 質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍) |
更多規(guī)格可根據(jù)要求來定制 |
1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。