描述
Cressington 108auto SE離子濺射儀基于108auto 離子濺射儀。它具有108auto的所有優(yōu)點(diǎn)，但具有更大的?150x165mm玻璃腔和目標(biāo)前方的額外擋板。此外，108auto / SE可配備可選的旋轉(zhuǎn)傾斜（RT）樣品臺(tái)或可選的旋轉(zhuǎn) – 行星 – 傾斜（RPT）樣品臺(tái)。
108 Auto SE是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。
主要特性
一、自動(dòng)的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和的導(dǎo)電噴鍍效果。
二、通過(guò)高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過(guò)程，避免樣品表面受損。
三、操作容易快捷，可全自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動(dòng)放氣以及氬氣換氣控制。
四、在自動(dòng)模式下，可通過(guò)兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過(guò)程?？赏ㄟ^(guò)數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果，
五、通過(guò)使用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）在達(dá)到設(shè)定膜厚時(shí)停止噴鍍過(guò)程。
六、可用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）手動(dòng)停止噴鍍過(guò)程。
七、數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。
八、可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶為標(biāo)配），靶材更換快速方便。
濺射系統(tǒng) | |
樣品室大小 | 直徑150mm x 165mm 高 (4.75 x 4.75″) 高度可變165mm-250mm |
靶材 | Au 靶為標(biāo)配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （選件）;大?。褐睆?7mm x 0.1mm厚 |
樣品臺(tái) | 可以裝載12個(gè)SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為60mm |
濺射控制 | 微處理器控制，安全互鎖，可調(diào)，電流40mA，程序化數(shù)字控制 |
濺射頭 | 低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩 |
模擬計(jì)量 | 真空： Atm – 0.001mbar，電流：0-50mA |
厚度監(jiān)控 (選件) | 使用MTM-20高分辨厚度控制儀（選件）自動(dòng)終止濺射過(guò)程，或使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）手動(dòng)終止濺射過(guò)程 |
控制方法 | 自動(dòng)氣體換氣和泄氣功能，自動(dòng)處理排序，帶有“暫?！笨刂频臄?shù)字定時(shí)器（0－300s），自動(dòng)放氣 |
真空系統(tǒng) | |
真空泵 | 2級(jí)直連式高速真空泵 |
抽氣速率 | 3.0 m3/小時(shí) ，真空度到 0.1mb所需時(shí)間30秒 |
桌上系統(tǒng) | 真空泵可置于抗震臺(tái)上，全金屬集成耦合系統(tǒng) |
膜厚控制儀MTM-20 | |
性能 | 基于微處理器，4位數(shù)字顯示，復(fù)位按鈕， 6MHz晶體（具有壽命檢查功能），5次/s的更新速率 |
膜厚范圍 | 0.0 – 999.9nm |
分辨率 | 優(yōu)于 0.1nm |
密度范圍 | 0.50 – 30.00gm/cm3 |
修正系數(shù)范圍 | 0.25 – 8.00 |
鍍膜終止范圍 | 膜厚0 – 999.9nm |
樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，可傾斜，適合多角度樣品。
108auto離子濺射儀配置旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)的使用視頻
