FGL(RTP)滑軌式管式爐(T max 1100℃)
滑軌式管式爐一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求,通過(guò)移動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速冷卻的目的。同時(shí)也可以預(yù)先設(shè)定溫度,然后移動(dòng)到樣品處,達(dá)到快速升溫的效果。適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。
特點(diǎn)
1、 工作溫度RT~1000℃。
2、 智能程序控溫儀控制精準(zhǔn),可編輯、儲(chǔ)存并調(diào)用多段程序。
3、 采用陶瓷纖維FEC加熱模塊,電阻絲內(nèi)嵌式環(huán)繞加熱。
4、 爐殼結(jié)構(gòu),雙層爐殼風(fēng)冷結(jié)構(gòu)。
5、 不銹鋼雙層密封法蘭,進(jìn)、出氣美標(biāo)針閥。
6、 兩端可調(diào)節(jié)式法蘭支撐結(jié)構(gòu),延長(zhǎng)石英管的使用壽命。
7、 超溫保護(hù)功能,當(dāng)溫度超過(guò)允許設(shè)定值自動(dòng)斷電。
8、 安全保護(hù)當(dāng)爐體漏電時(shí)自動(dòng)斷電。
額外選配 爐內(nèi)測(cè)量系統(tǒng)(氧含量檢測(cè)系統(tǒng)、溫度檢測(cè)系統(tǒng));
真空系統(tǒng)(旋片式機(jī)械泵、擴(kuò)散泵機(jī)組、分子泵機(jī)組);
氣氛系統(tǒng)(浮子流量計(jì)、質(zhì)量流量計(jì));
監(jiān)控系統(tǒng):(溫度記錄儀、觸摸屏遠(yuǎn)程監(jiān)控);
注:選件需配置拓展柜體;
技術(shù)參數(shù)
設(shè)備常規(guī)型號(hào) | 高溫度 | 管徑 | 加熱區(qū) | 溫區(qū)數(shù) | 熱電偶 | 電壓 | 功率 |
FGL(RTP)-40/11/1 | 1100℃ | 40mm | 320 mm | 1個(gè) | K型 | 220V |
3、0KW |
FGL(RTP)-50/11/1 | 1100℃ | 50mm | 320 mm | 1個(gè) | K型 | 220V | |
FGL(RTP)-60/11/1 | 1100℃ | 60mm | 320 mm | 1個(gè) | K型 | 220V | |
FGL(RTP)-80/11/1 | 1100℃ | 80mm | 320 mm | 1個(gè) | K型 | 220V |
注:給出的 高溫度為工作管外測(cè)定,其它溫區(qū)個(gè)數(shù)和加熱區(qū)長(zhǎng)度可根據(jù)客戶工藝要求定制。
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