Leica EM ACE600 高真空鍍膜機(jī)可以通過以下方法進(jìn)行配置:濺射、碳絲蒸發(fā)、碳棒蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)和輝光放電。
適用于Leica EM ACE600高真空鍍膜機(jī)的Leica EM VCT真空冷凍傳輸系統(tǒng),是無污染的低溫掃描電鏡樣本制備的理想解決方案。
重現(xiàn)的結(jié)果
運(yùn)行全自動化過程,輔以參數(shù)和協(xié)議設(shè)置。集成的石英測量和自動化3軸載物臺移動
容易清洗
可拆卸的門、卷簾、內(nèi)部屏蔽、來源和載物臺,確保制備高品質(zhì)樣本的環(huán)境清潔。
小巧緊湊
設(shè)計(jì)緊湊,占地面積小,節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間。
操作簡便
直觀的觸摸屏,松推配合的連接器和免工具的目標(biāo)變更,舒適的前門鎖定。
自定義配置
配備了儀器,可滿足您的具體需求。
低溫鍍膜
真空低溫傳輸系統(tǒng)適應(yīng)將室溫鍍膜機(jī)轉(zhuǎn)換成低溫鍍膜機(jī)。樣本能在低溫下于受保護(hù)的環(huán)境中進(jìn)行鍍膜和傳輸。
Leica EM ACE600 可以配置如下鍍膜方式:
. 金屬濺射鍍膜
. 碳絲蒸發(fā)鍍膜
. 碳棒蒸發(fā)鍍膜(帶有熱阻蒸發(fā)鍍膜選配件)
. 電子束蒸發(fā)鍍膜
. 輝光放電
. 連接VCT樣品交換倉,與徠卡EM VCT配套實(shí)現(xiàn)冷凍鍍膜,冷凍斷裂,雙復(fù)型,冷凍干燥和真空冷凍傳輸
碳絲蒸發(fā)的新紀(jì)元
厚達(dá)40nm的碳膜可以被精確設(shè)定并準(zhǔn)確獲得,通過脈沖碳絲蒸發(fā),結(jié)合連續(xù)膜厚監(jiān)控(石英片膜厚控制),和的軟件控制來實(shí)現(xiàn)。碳膜因此實(shí)現(xiàn)高度可重復(fù)性和均勻性。
得益于可拆卸式玻璃門,擋板和樣品室屏蔽內(nèi)壁,鍍膜源和樣品臺,樣品室內(nèi)部清潔工作非常簡便。
傾斜式鍍膜源配合旋轉(zhuǎn)樣品臺,可獲得區(qū)域更大,更均勻的鍍膜。根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求,可以同時(shí)加裝2種鍍膜靶源。
內(nèi)置膜厚監(jiān)控系統(tǒng),石英片置于樣品臺正中,可獲得更加準(zhǔn)確的鍍膜結(jié)果。
三軸馬達(dá)驅(qū)動樣品臺-無需破真空就可調(diào)整樣品臺高度角度。