磁控濺射工作原理：
低氣壓下氣體的輝光放電現(xiàn)象（與直流相同），顯著區(qū)別：
1. 靶材后有磁鐵，直流沒有；
2. 靶材電壓為-600V左右，顯著低于直流；
3. 絕大部分電子和負(fù)離子在電場和磁場的共同作用下，做螺旋線運(yùn)動，單個電子電離的氣體分子大大多于直流，因此，在較好的真空、較低的電壓下即可獲得較大的電流；
4. 在磁場在作用下，絕大部分電子和部分負(fù)離子落在靶材附近，無法到達(dá)樣品臺，對樣品基本沒有熱損傷
工作特點(diǎn)：濺射電流與壓力無關(guān)、基本沒有熱損傷。
應(yīng)用領(lǐng)域：適用于所有樣品，尤其是溫度敏感性樣品、如生物、聚合物等樣品
工作時真空度好，鍍膜的顆粒度更小，更適用場發(fā)射等高分辨觀測
電極制備。
GVC-2000鍍膜后電鏡效果圖，高分辨圖片中，無明顯顆粒感，適配高分辨掃描電鏡，充分體現(xiàn)表面細(xì)節(jié)特征
（左）
（右）
上面兩張圖片為鋰電池隔膜樣品的電鏡圖片：
左側(cè)圖片為GVC-2000噴金后的電鏡觀測圖，可以看出，樣品形貌真實(shí)完整；
右側(cè)圖片為其他設(shè)備噴金后的電鏡觀測圖片，可以看出，熱損傷嚴(yán)重，幾乎無法識別為同種樣品。
鍍膜顆粒度：
GVC-2000離子濺射儀
金靶
顆粒尺寸6~10nm
產(chǎn)品特點(diǎn)：
一、安全
1．高壓線多重防護(hù)，外加8×5透明真空管，安全；
2．外殼良好接地；
3．真空互鎖；
4．電流＞50mA，真空度超過100Pa，系統(tǒng)自動切斷濺射；
5．實(shí)體按鍵，安全；
6．濺射頭采用阻尼設(shè)計，任意位置懸停
二、注重用戶體驗(yàn)
1．5英寸液晶屏，簡潔明了；
2．最多設(shè)置兩個參數(shù)，即可開始工作；
3．參數(shù)設(shè)定后，系統(tǒng)自動調(diào)整真空度，無需人工調(diào)節(jié)針閥，簡單方便；
4．自動放氣；
5．樣品臺高度1秒調(diào)節(jié)。
三、信息量大
1．濺射過程中真空度和濺射電流以曲線方式實(shí)時顯示，簡單直觀；
2．靶材使用時間，儀器使用時間系統(tǒng)自動記錄，直觀了解設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)。
四、快速上手
設(shè)備內(nèi)置操作向?qū)?，在操作人員更換時，無需培訓(xùn)，即可快速熟練操作設(shè)備。
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