特點(diǎn) | 特別為SEM樣品鍍導(dǎo)電性薄膜設(shè)計(jì)
體積小巧,操作簡(jiǎn)單,容易上手。
擁有小型磁控靶頭,可以鍍金銀鉑等金屬。 | |||||||||||||||
主要參數(shù) | 輸入電源:220V AC 50/60Hz
功率:200W
輸出電壓:500 VDC
濺射電流:0-50 mA可調(diào)
濺射時(shí)間:0-120S可調(diào) | |||||||||||||||
濺射腔體 | 采用石英腔體,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H
密封:采用不銹鋼平法蘭的O形密封圈 | |||||||||||||||
濺射頭&樣品臺(tái) | 濺射頭可安裝靶材直徑為2英寸,厚度0.1 - 2.5mm
濺射時(shí)間1-120S可調(diào)
儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼樣品臺(tái),其與濺射頭之間距離可調(diào)。
可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái),其加熱溫度為500℃
安裝有一可手動(dòng)操作的濺射擋板,可進(jìn)行預(yù)濺射。
| |||||||||||||||
真空系統(tǒng) | 安裝有KF25真空接口
數(shù)字真空壓力表(Pa)
此系統(tǒng)可通入氣體運(yùn)行
< 1.0e-2="" torr="">
< 1.0e-5="">
可在本公司選購(gòu)各種真空泵
| |||||||||||||||
進(jìn)氣 | 設(shè)備上配1/4英寸進(jìn)氣口,方便連接氣瓶
設(shè)備前面板上裝有一氣流調(diào)節(jié)旋鈕,方便調(diào)節(jié)氣流 | |||||||||||||||
靶材 | 靶材尺寸要求:Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度)
此設(shè)備標(biāo)配為銅靶
可在本公司選購(gòu)各種靶材 | |||||||||||||||
薄膜測(cè)厚儀(可選) | 可在本公司選購(gòu)薄膜測(cè)厚儀安裝在濺射儀上
| |||||||||||||||
產(chǎn)品外型尺寸 | L460 mm × W 330 mm × H 540 mm
凈重:20 kg(不包括泵) | |||||||||||||||
質(zhì)量認(rèn)證 | CE認(rèn)證 | |||||||||||||||
質(zhì)保 | 一年保修,終身技術(shù)支持。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 | |||||||||||||||
各種靶材的參數(shù)(僅供參考) | 對(duì)于濺射各種金屬靶材,需要摸索的濺射參數(shù),下表是本公司實(shí)驗(yàn)所設(shè)置的參數(shù),歡迎您帶料來(lái)科晶實(shí)驗(yàn)室摸索工藝(僅供參考,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊)
| |||||||||||||||
使用提示 | l有時(shí)為了達(dá)到理想的薄膜厚度,可能需要多次濺射鍍膜
l在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺(tái)的潔凈
l要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合,請(qǐng)?jiān)跒R射前清潔基材表面
l超聲波清洗(詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):(1)丙酮超聲,(2)異丙醇超聲-去除油脂,(3)吹氮?dú)飧稍?,?)真空烘箱除去水分。
l等離子清洗(詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):可表面粗糙化,可激活表面化學(xué)鍵,可祛除額外的污染物。
l制造一個(gè)薄的緩沖層(5納米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力。
l請(qǐng)使用>5N純度氬氣等離子體濺射
l濺射鍍膜機(jī)可以放入Ar或N2氣體手套箱中濺射
l由于能量低,該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al,Mg,Zn,Ni。請(qǐng)考慮我們的磁控濺射鍍膜機(jī)或熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)。點(diǎn)擊下面圖片查看細(xì)節(jié)
| |||||||||||||||
警告 | 注意:產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動(dòng)機(jī)體。
氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥(不包括),保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。
濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶頭。 |
北京壯仕科技有限公司是一家代理、經(jīng)銷(xiāo)國(guó)內(nèi)外分析儀器、環(huán)保儀器、生命科學(xué)儀器、電化學(xué)儀器設(shè)備及耗材、實(shí)驗(yàn)室常規(guī)設(shè)備、生化試劑耗材以及玻璃儀器的專(zhuān)業(yè)公司。本著“以質(zhì)量為依托,靠服務(wù)求生存”的宗旨,進(jìn)行科學(xué)管理,不僅為客戶提供高品質(zhì)的分析儀器,更致力于為所有客戶提供完整的解決方案。從度身定制產(chǎn)品,專(zhuān)業(yè)技術(shù)支持,到完善的售后服務(wù),令所有的客戶稱(chēng)心滿意。
公司人員均是北京各大高校的畢業(yè)生,立足于高校,利用自身日常使用儀器的一些知識(shí)為更多用戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。
公司在電化學(xué)領(lǐng)域,依托與北京理工大學(xué)環(huán)境能源中心,不斷加強(qiáng)與清華大學(xué)、北京科技大學(xué)、北京化工大學(xué)、北京大學(xué)、物理所、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、鼎能開(kāi)源、有色金屬研究總院、機(jī)電研究院等高校及研究所的合作。
通過(guò)與電化學(xué)領(lǐng)域的廠家,包括上海辰華(CHI系列電化學(xué)產(chǎn)品)、科晶集團(tuán)(MTI鋰離子電池實(shí)驗(yàn)室加工設(shè)備、管式爐、箱式爐、磨拋設(shè)備)、武漢藍(lán)電(LAND電池測(cè)試設(shè)備)、PINE旋轉(zhuǎn)圓盤(pán)電極、Arbin電化學(xué)測(cè)試系統(tǒng)等的合作,不斷為廣大電化學(xué)研究者提供面、穎的研究設(shè)備和質(zhì)的服務(wù)。