離子泵的發(fā)展史 | |
從上世紀(jì)五十年代,由瓦里安公司首先發(fā)明的濺射離子泵問世以來,越來越多的新設(shè)計(jì)和新技術(shù)投入使用,其中大部分源自 瓦里安公司,即現(xiàn)在的安捷倫科技。從二極型離子泵,到三極型離子泵,再到Starcell 系列產(chǎn)品乃至聞名的VacIon Plus 產(chǎn)品家族等。 |
VacIon Plus | |
? VacIon Plus 是安捷倫科技旗下的的離子泵產(chǎn)品家族,包括全系列離子泵、 控制電源、可選配件及附件??蔀楦鞣N應(yīng)用提供相應(yīng)解決方案。除標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品外, 安捷倫科技還為特定應(yīng)用提供包括電源及相關(guān)附件在內(nèi)的專屬解決方案,以滿足 用戶對(duì)起始工作壓強(qiáng)、離子泵工作范圍以及不同成份混合氣體等指標(biāo)的特殊要求。 ? VacIon Plus 離子泵產(chǎn)品家族擁有Diode 二極型、Noble Diode 鉭陰極二極型以 及Starcell 三極型泵在內(nèi)的全系列產(chǎn)品,以超高真空獲得技術(shù)為眾多應(yīng)用 領(lǐng)域服務(wù)。除MiniVac 和Dual 兩款離子泵電源外,新4UHV 離子泵控制器則 為不同應(yīng)用提供了更為豐富的選擇。 |
鈦升華復(fù)合型離子泵 |
? 鈦升華復(fù)合型離子泵將兩種抽氣原理合二為一: 鈦升華過程針對(duì)活性氣體提供了的抽速,而同時(shí)Starcell 離子泵則有效清除如 氬氣等惰性氣體和甲烷等非活性氣體。復(fù)合型泵通過額外的法蘭將鈦升華泵源以 及低溫筒集成在泵體當(dāng)中。安捷倫科技還可針對(duì)客戶的特殊需求提供定制產(chǎn)品。 |