詳情介紹:
本產品有以下特點:
1.本設備采用石英腔體,易于清潔和樣品的放入;
2.采用鎢絲籃或者鎢舟為發(fā)熱源,*高溫度可達到1700℃;
3.可向真空腔體中通入惰性氣體,對腔體進行清洗,也可通入反應氣體,進行反應蒸發(fā)鍍膜。
4.進氣口配有針閥,用于調節(jié)進氣流量。
項目 | 明細 |
供電電壓 | AC220V,60Hz |
*大功率 | 1000W |
樣品臺 | 直徑φ60mm; 與蒸發(fā)源間距可調,調節(jié)范圍60mm-100mm |
石英腔體 | O.Dφ180mm x I.Dφ166mm x 100mm |
蒸發(fā)源 | 鎢絲籃/鎢舟 |
*高溫度 | 1700℃ |
熱電偶 | B型熱電偶,工作溫度200℃~1500℃ |
真空計 | 電阻式真空規(guī) |
真空接口 | KF16 |
進氣接口 | φ6.35mm卡套接頭 |
真空泵 | 不含,客戶自備 |
整機尺寸 | 330x250x580mm |