該裝置是配有波紋管密封針閥的流量計，設(shè)計用于承受高真空，高壓，高溫，有毒氣體等的使用。
- 所有產(chǎn)品均使用氦氣檢漏儀進行泄漏檢測，因此具有高度可靠的泄漏檢測能力。
- 因為是波紋管密封型裝置，不存在針閥軸泄漏的可能性。
- 流體接觸部分的材料只使用SUS316、氟樹脂、氟橡膠和硬質(zhì)玻璃，因此具有優(yōu)異的耐腐蝕性
- 具有高精度再現(xiàn)性和穩(wěn)定性的流量計，由采用精密模塑的三氟甲磺酸酯、肋導(dǎo)向流量計管和超精密球組成，裝設(shè)有流暢流量特性的精密針閥。
用途
- 用于真空設(shè)備
- 用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線
使用示例
尺寸圖
標準規(guī)格
| 氣體 | 流體 | ||
|---|---|---|---|
| 流體名稱 | Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（實際氣體校準） 其他氣體在轉(zhuǎn)換后進行校準，實際氣體校準請另行咨詢 ※選項：2種流體刻度 | 標準流體（H2O） 其他氣體在轉(zhuǎn)換后進行校準 （但是，會產(chǎn)生與實際液體的誤差。） | |
| 流量范圍 | 0.5~5 ML / MIN至3~30 L / MIN（參考容量列表） ※選項：0.5~3ML / MIN | 0.5~5ML / MIN至0.1～1L / MIN（參考容量列表） ※選項：0.5~3ML / MIN | |
| 精度 | FS±2％（計量點）※選項：FS±1％（計量點） | FS±2％（計量點） | |
| 耐壓 | 100ML / MIN以下：1.0MPa 5L / MIN以下：0.7MPa 10L / MIN以上：0.5MPa | 5ML / MIN以下：1.0MPa 150ML / MIN以下：0.7MPa 200ML / MIN以上：0.5MPa | |
| 有效刻度 | 10：1 ※選項20：1 | ||
| 材質(zhì) | SS制 | |
|---|---|---|
| 主體區(qū)塊 | SUS316 | |
| 錐形管 | 硬玻璃 | |
| 密封材料 | 氟橡膠 | |
| 浮標 | 硬質(zhì)玻璃，SUS316 | |
| 保護罩 | 丙烯 | |
| 使用溫度 | 60℃ | |
| 連接端口 | 1 / 4F 900（標準），1/8 F 900（可選），1/4 UJR（選項）* O形密封圈的標準規(guī)格（可選配焊接密封） | |
容量列表
可選規(guī)格
- F.S. ±1％（計量點）
- 0.5~3ML / MIN空氣（大氣壓）規(guī)格
注）全長為120mm的情況。 - 全氟醚橡膠O型圈規(guī)格
注）沒有用于關(guān)閉針部的O型圈。
注）氣體1L / MIN以下無過濾器。 - 雙刻度規(guī)格
- 20：1刻度規(guī)格
