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環(huán)保APP正式上線

PS-200單靶磁控濺射鍍膜機(jī)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱磐石創(chuàng)新(江蘇)電子裝備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2022/10/21 15:55:22
  • 訪問次數(shù)167
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磐石創(chuàng)新(江蘇)電子裝備有限公司是一家集半導(dǎo)體、微電子、新材料工藝設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體的高科技企業(yè),專業(yè)為客戶提供交鑰匙工程以及整體生產(chǎn)線改造升級解決方案。總部于2018年從北京遷至江蘇徐州,北京設(shè)有研發(fā)中心。一期在徐州工業(yè)園租用辦公生產(chǎn)場地共14000平米,二期將啟動規(guī)模為100畝土地的項目投建,2019年將啟動項目投建,設(shè)立辦公大樓、研發(fā)樓、標(biāo)準(zhǔn)廠房。 公司匯聚了眾多相關(guān)行業(yè)、領(lǐng)域的高級管理和技術(shù)人才,具有自主研發(fā)、設(shè)計和制造工藝設(shè)備的能力。長期與大專院校、研究院、用戶企業(yè)等相關(guān)單位建立開放式技術(shù)合作,旨在不斷解決工藝制備領(lǐng)域不斷變化的市場需求、不斷突破國外廠家長期以來形成的技術(shù)壁壘。以靈活、創(chuàng)新的合作模式,打造高效的技術(shù)研發(fā)平臺,不斷提升產(chǎn)品核心技術(shù)。 主營產(chǎn)品:半導(dǎo)體工藝爐設(shè)備、真空類設(shè)備、清洗類設(shè)備、輔助配件、智能工廠生產(chǎn)線。
PS-200單靶磁控濺射鍍膜機(jī)
PS-200單靶磁控濺射鍍膜機(jī) 產(chǎn)品信息

設(shè)備簡介

PS-200單靶磁控濺射鍍膜機(jī)主要由真空室、磁控靶、旋轉(zhuǎn)基片架、真空系統(tǒng)、機(jī)架、電器控制等幾大部分組成??捎脕碇苽鋵?dǎo)電膜、金屬膜、介質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、絕緣膜、多層膜等。設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小適合高校實驗室及科研院所。

環(huán)境要求
供電:AC220V,功率≥20KVA
獨立地線:<3Ω,從設(shè)備到地線連接建議采用≥10mm2 的扁平銅線
供水:流量≥10L/min 水溫0~25℃
室溫:<30℃
相對濕度:<75%
高純氬氣
室內(nèi)無腐蝕易燃、易爆、有毒氣體,無大的塵埃。

技術(shù)參數(shù)

真空室尺寸(內(nèi)徑X高) Ф200×200mm
極限真空 2X10-4 Pa
恢復(fù)工作真空 從大氣抽至8X10-4 Pa,≤40min
工作真空 ≤6X10-1Pa
升壓率 ≤8X10-1Pa/h
基片架旋轉(zhuǎn)速度 2~20rpm可調(diào)
靶-片距 80~120mm
真空系統(tǒng) 分子泵:FF63/80 型 62 L/S
機(jī)械泵:TRP-12型 3L/S
總功率 20KVA
設(shè)備占地尺寸 800X800
關(guān)鍵詞:鍍膜機(jī)
15700106413
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