產(chǎn)品描述
PPC4 - 重新定義數(shù)字壓力校準(zhǔn)器的優(yōu)異性能
- 高達(dá)14 MPa (2,000 psi) 的量程。
- 低至1 kPa (0.15 psia) 絕壓壓力,控制精度高達(dá)百萬分之4。
- 能支持十一種語言。
- 高性能Q-RPT壓力傳感器能確保其高精度,高穩(wěn)定性。
- 擁有實(shí)用的自動量程功能。
- 簡單的操作,靈活的配置方案。
- 精密,穩(wěn)定,可靠的系統(tǒng)。
- 配置了自動化的校準(zhǔn)軟件。
從實(shí)驗(yàn)室測量到7天24小時(shí)全天候的自動化生產(chǎn)測試,總會有一款 PPC4™壓力控制器/校準(zhǔn)器能夠地適配您的應(yīng)用需求。
- 可選擇全新的高級用戶界面,帶彩色顯示屏幕與一鍵點(diǎn)擊導(dǎo)航,也可選擇基本界面。
- 全新的編譯程序使得 PPC4 迅速替代傳統(tǒng)測試系統(tǒng)中的控制器而無需更換昂貴的軟件。
- 新的“F 級”Q-RPT 模塊性能全面,更加經(jīng)濟(jì)。
PPC4是福祿克壓力產(chǎn)品部DHI的新一代產(chǎn)品。它繼承了前四代PPC的優(yōu)良性能,并且將高性能、操作的靈活性以及長期的穩(wěn)定性更地結(jié)合在一起。
良好的性能,良好的多面和靈活性,超級可靠性是其的特點(diǎn)。
高性能Q-RPT壓力傳感器確保高精度,高穩(wěn)定性
PPC4出眾的指標(biāo)是源于的Q-RPT(石英諧振壓力傳感器)。每個(gè)傳感器都經(jīng)過嚴(yán)格的評估并參照基準(zhǔn)級的壓力標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)定其特性,只有滿足必需的線性度,重復(fù)性和穩(wěn)定性的指標(biāo)傳感器才能被使用。福祿克DHI壓力計(jì)量部通過二十多年來對成千上萬只傳感器測試的經(jīng)驗(yàn)和數(shù)據(jù)的積累,得到了一個(gè)擁有的補(bǔ)償模型,從而對每個(gè)傳感器賦予了優(yōu)化的計(jì)量特性。出于用戶不同需求和應(yīng)用的考慮,我們提供三種不同性能和價(jià)格的Q-RPT壓力傳感器。從經(jīng)濟(jì)的滿量程級(Full Scale Standard - f),標(biāo)準(zhǔn)級(Standard - s)至性能高的特級(Premium - p)傳感器。
高性能的Q-RPT石英傳感器被集成在一個(gè)剛性非常好的模塊中形成一個(gè)壓力傳感器模塊。它可以保護(hù)傳感器不受任何外來應(yīng)力的影響,確保測量的精確性和穩(wěn)定性。該模塊還支持自動調(diào)零,改變測量模式以及傳感器切換。
PPC4內(nèi)置了一個(gè)獨(dú)立的氣壓計(jì)進(jìn)行動態(tài)大氣壓力補(bǔ)償測試,能夠快速實(shí)現(xiàn)絕壓、表壓、負(fù)壓工作模式之間的切換而不會對測量不確定度造成明顯影響。氣壓計(jì)僅被用來測量在表壓模式下大氣壓力發(fā)生的微小變化,因此其隨時(shí)間的誤差和漂移不影響測量不確定度,所以無需對其進(jìn)行校準(zhǔn)。這樣就實(shí)現(xiàn)了不需要其它硬件或選件即可采用一個(gè)Q-RPT實(shí)現(xiàn)絕壓和表壓模式的測量。
采用Q-RPT壓力模塊的好處
- 除了出眾的計(jì)量特性之外,Q-RPT 模塊還具有以下優(yōu)勢:
- 預(yù)熱時(shí)間可以忽略
- 不依賴于氣體種類
- 石英元件與測試介質(zhì)隔離
- 對地磁干擾的敏感性小
以上這些特點(diǎn)對實(shí)際的使用都帶來的極大的方便和好處。
實(shí)用的自動量程功能
為了使用一臺壓力控制器來覆蓋各種壓力測試設(shè)備,需要考慮許多因素,不僅僅是“%讀數(shù)”測量不確定度。而自動量程(AutoRange)功能正是實(shí)現(xiàn)單臺控制器和監(jiān)測儀覆蓋各種被校準(zhǔn)設(shè)備(UUT)的主要因素。
自動量程可自動將所有的工作參數(shù)調(diào)整至準(zhǔn)確的量程,而無需操作者干預(yù)。該功能通過設(shè)置上限報(bào)警和關(guān)斷來防止意外過壓,并且能夠預(yù)設(shè)和保存常用的工作設(shè)置(例如單位、模式、量程),以供隨時(shí)調(diào)用。
PPC4能夠適應(yīng)各種各樣的被測設(shè)備。通過易于使用的自動量程功能,在測試之前簡單鍵入幾個(gè)設(shè)置,或者輸入幾個(gè)簡單的遠(yuǎn)程命令就可修改控制器的設(shè)置,對量程進(jìn)行優(yōu)化。只需要輸入大壓力、測量模式,如果愿意還可以輸入U(xiǎn)UT的滿量程指標(biāo),即自動完成:
- 傳感器Q-RPT的選擇。如果在PPC4系統(tǒng)中有幾個(gè)Q-RPT,則會自動識別和選擇良好覆蓋量程的Q-RPT
- 設(shè)置測量單位
- 自動激活絕壓、表壓或負(fù)壓測量模式
- 設(shè)置相應(yīng)的顯示分辨率
- 設(shè)置壓力控制限使之與工作量程相匹配
- 過壓限值自動設(shè)置與實(shí)際測試量程匹配從而自動保護(hù)被測試設(shè)備
- 測量不確定度被按比例減小至所選量程(滿量程級和特級Q-RPT)
除了與量程相關(guān)的測量不確定度,PPC4還具有的壓力控制和自適應(yīng)能力,這些都是測試和校準(zhǔn)應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)真正的自動量程功能所的。
簡單的操作,靈活的配置方案
PPC4高級型(PPC4-ui)新的彩色大液晶顯示屏配之以簡明易懂的菜單,可以幫助您輕松完成校準(zhǔn)和測量。如果您喜歡使用PC來進(jìn)行儀器的操控,那么可以選擇不帶彩色顯示屏的基本型?;拘秃透呒壭投加星懊姘宓腢SB接口或者后面板的RS232接口,通過免費(fèi)的 “cockpit”的軟件進(jìn)行遙控操作。
一臺PPC4可以內(nèi)置一個(gè)或兩個(gè)壓力傳感器來覆蓋所需的壓力量程。如果量程范圍或者應(yīng)用不能滿足用戶的需求,您可以通過RPM4(標(biāo)準(zhǔn)壓力測試儀)來擴(kuò)展量程。一個(gè)PPC4可以連接一個(gè)RPM4構(gòu)成一個(gè)系統(tǒng),RPM4可以內(nèi)置一個(gè)或兩個(gè)傳感器,這樣多可以構(gòu)成四個(gè)傳感器的壓力檢測校準(zhǔn)系統(tǒng),來覆蓋任何壓力的量程。RPM4通過9針RS-232電纜進(jìn)行連接。構(gòu)成系統(tǒng)的RPM4中的Q-RPT由此即成為PPC4系統(tǒng)的一部分,并且受PPC4的管理,對用戶是透明的。僅需要一個(gè)測試壓力連接口,系統(tǒng)既可發(fā)揮全部功能,不再需要傳統(tǒng)解決方案中所需的外部閥門或多個(gè)測試口。
精密,穩(wěn)定,可靠的系統(tǒng)
PPC4利用DHI擁有的正截?cái)鄩毫刂萍夹g(shù)控制壓力。正截?cái)鄩毫刂朴捎谄涓呖煽啃?,寬動態(tài)量程和小的氣耗以節(jié)約成本而被廣泛接受。
利用正截?cái)鄩毫刂萍夹g(shù),PPC4壓力控制器采用單個(gè)高壓力源和單個(gè)壓力輸出即可以50:1的調(diào)節(jié)比控制壓力,速度和精確度都可得到保障。PPC4提供了 0.002%讀數(shù)準(zhǔn)確度范圍到達(dá)控制器大壓力的2%。這就使得PPC4可以覆蓋非常寬的壓力范圍,不會發(fā)生其它控制器經(jīng)常出現(xiàn)的在量程低端不確定度增大的現(xiàn)象。
PPC4壓力控制模塊的可靠性得益于采用了低功率電磁閥,在非常低的工作頻率下,其位移小于0.05mm。
第五代正截?cái)鄩毫刂萍夹g(shù)還改進(jìn)了低絕壓精密度,其截?cái)嗄芰€使得在設(shè)置零點(diǎn)時(shí)達(dá)到非常低的壓力。
自動化的校準(zhǔn)軟件
PPC4能夠以各種形式實(shí)現(xiàn)自動化工作,從單機(jī)板載校準(zhǔn)程序,到具有模擬第三方能力的遠(yuǎn)程接口,以及高級的校準(zhǔn)軟件。PPC4的大范圍調(diào)節(jié)比和開放式架構(gòu)使得一套自動化系統(tǒng)配置即可覆蓋非常寬的范圍。設(shè)備提供了前面板USB接口和后面板RS232接口,用于與遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)進(jìn)行通信。還可選擇IEEE-488.2接口構(gòu)成ATE的校準(zhǔn)系統(tǒng)。
遠(yuǎn)程工作是通過一組使用簡單、說明詳細(xì)的命令串實(shí)現(xiàn)的。PPC4命令解析器使PPC4能夠解析并響應(yīng)客戶的遠(yuǎn)程命令,包括其它廠商使用的命令。利用該特性,PPC4可模擬第三方控制器,從而可使用為其它廠家的控制器編寫的軟件。得益于命令解釋器,無需對以前的軟件進(jìn)行修改,即可將PPC4用于已有的系統(tǒng)。
對于那些不希望或者不能夠開發(fā)自己軟件的用戶,我們提供COMPASS軟件,來實(shí)現(xiàn)現(xiàn)成的解決方案。COMPASS具有幾乎能夠?qū)崿F(xiàn)任何水平自動化的能力和靈活性,包括測試、數(shù)據(jù)采集和生成報(bào)告,無論是用于臺式校準(zhǔn)系統(tǒng)還是完整的多功能傳感器測試設(shè)備。
如果您只需要對PPC4進(jìn)行PC機(jī)的控制,只需要免費(fèi)的軟件Cockpit就可實(shí)現(xiàn)。
福祿克壓力品牌DHI部門的壓力校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室是經(jīng)過美國實(shí)驗(yàn)室認(rèn)證協(xié)會(A2LA)的認(rèn)證,符合ISO 17025標(biāo)準(zhǔn)。從而保證了我們的產(chǎn)品處于一個(gè)優(yōu)良和可靠的狀態(tài)。
PPC4前面的USB接口提供了方便的操作性,利用"cockpit"軟件可實(shí)現(xiàn)基于PC的即插即用的功能。
自動量程 | 自動測試 | 用戶參數(shù)設(shè)置 | ||
PPC4的自動量程我可優(yōu)化和設(shè)置測量,僅需很少的簡單輸入,即可實(shí)現(xiàn)具體測試量程的優(yōu)化、控制和安全。 | PPC4支持短時(shí)間內(nèi)設(shè)置和運(yùn)行快速測試,并且能夠創(chuàng)建并保存復(fù)雜的測試序列,以備隨后調(diào)用和執(zhí)行。 | PPC4的高級用戶界面(ui)支持用戶進(jìn)行各種自定義,包括屏保、按鍵聲音、語言和安全設(shè)置。 |
通用技術(shù)指標(biāo) | |
電源要求 | 85~264VAC 50/60 Hz,功耗75 W |
工作溫度范圍 | 15~35℃ |
儲存溫度范圍 | -20~70℃ |
振動 | 滿足美標(biāo)MIL-T-28800D標(biāo)準(zhǔn) |
重量 | 16.6 kg(36.5 lb) |
尺寸 | PPC4:19 cm 高×35 cm 寬×41 cm 深 (7.5 in.×13.8 in.×16.1 in.)
PPC4-ui:19 cm 高×35 cm 寬×45 cm 深 (7.5 in.×13.8 in.×17.7 in.) |
遠(yuǎn)程通信接口 | RS232 (COM1、COM2)、USB(前面板) 選件:IEEE-488.2 |
壓力范圍 | 真空~10 MPa (1,500 psi) |
工作介質(zhì) | 氮?dú)?、空氣,以及任何潔凈、干燥的非腐蝕性氣體 |
供壓 | 預(yù)期設(shè)置壓力+ 70 kPa (10 psi) |
泄壓 | 大氣壓、真空,當(dāng)表壓低于5 psi (35 kPa) 及相當(dāng)絕壓以下時(shí) |
壓力接口 | TEST (+),TEST (-):1/8 in. NPT F 供壓:1/8 in. NPT F |
泄壓:1/4 in. NPT F ATM:10-32 UNF | |
壓力限值 | 工作測試壓力: 103% Hi Q-RPT
無損害測試端口的壓力:115 % Hi Q-RPT |
通用傳感器(如果存在) | 分辨率:0.001% 量程 精度:0.1%量程 |
壓力測量 | |
預(yù)熱時(shí)間 | 在冷啟動時(shí),為了獲得性能,建議采用30分鐘的溫度穩(wěn)定時(shí)間 |
分辨率 | 達(dá)1 ppm,用戶可調(diào) |
一年穩(wěn)定性預(yù)測1 | ± 0.005% 讀數(shù)5 |
補(bǔ)償溫度范圍 | 5~35℃ |
加速度影響 | ±0.008 % /g,最壞方向。在參考面 ± 20°范圍內(nèi)無明顯影響 |
壓力控制 | ||||
HI Q-RPT工作量程 | 0-2 MPa [0-300psi] | 3.5-7 MPa [500-1,000psi] | 10 MPa [1,500 psi] | |
模式和準(zhǔn)備完畢指示 | 靜態(tài)模式 | 將壓力設(shè)置為保持限值內(nèi)的目標(biāo)值,并在密閉測試容積時(shí)關(guān)斷控制。 當(dāng)達(dá)到保持限值之內(nèi)并滿足穩(wěn)定測試條件時(shí),壓力“就緒”。 | ||
動態(tài)模式 | 將壓力設(shè)置為保持限值之內(nèi),并連續(xù)調(diào)整壓力保持在目標(biāo)值。 當(dāng)達(dá)到保持限值之內(nèi)時(shí),壓力“就緒”。 | |||
控制參數(shù) | 保持限值、穩(wěn)定限值(用戶可調(diào)節(jié)默認(rèn)值)。 | |||
控制精度 | Q-RPT 量程的±4ppm或HI Q-RPT量程的± 0.4 ppm,取較大值。 | |||
在動態(tài)模式的可控壓力 | 表壓模式 | 通過自動泄壓調(diào)整零點(diǎn)。零點(diǎn)以上或以下的點(diǎn)僅受Q-RPT分辨率和控制精度的限制。 | ||
絕壓、負(fù)壓模式 | 2 kPa | 3 kPa | 10 kPa | |
極限壓力(絕壓、負(fù)表壓模式) | 典型值< 50 Pa (0.008 psi) 絕壓,取決于真空源和測試體積 | 4 kPa | ||
典型的壓力穩(wěn)定時(shí)間(0.005 %控制限值,宜的容積) | 15~30秒 | 15~30秒 | 15~30秒 | |
轉(zhuǎn)換時(shí)間(ATM 到 FS,50 cc 測試容積時(shí)) | 30秒 | 25秒 | 25秒 | |
典型測試容積 | 0~1,000 cc | 0~500 cc |
Q-RPT傳感器等級 | |||
指標(biāo) | 滿量程等級(f) | 標(biāo)準(zhǔn)等級(s) | 特級(p) |
精度2 | ± 0.011%自動量程5 | ± 0.008% 讀數(shù)6 | ± 0.005% 讀數(shù)7 |
測量不確定度3 | ±0.015%自動量程5 | ± 0.01% 讀數(shù)6 | ± 0.008% 讀數(shù)7 |
輸出壓力不確定度4 | ± 0.016% 自動量程5 | ± 0.011% 讀數(shù)6 | ± 0.009% 讀數(shù)7 |
- 預(yù)測Q-RPT的1年期穩(wěn)定度極限(k=2),假設(shè)正常使用AutoZero功能。只要在表壓模式下排氣,即通過與絕壓模式下的大氣壓參考進(jìn)行比對,自動進(jìn)行調(diào)零。不使用自動調(diào)零功能的絕壓模式下預(yù)測1年期穩(wěn)定度為 ± (0.005 % Q-RPT 量程 + 0.005 % 讀數(shù))。
- 組合了線性度、遲滯性和重復(fù)性。在使用絕壓(Axxx)Q-RPT的表壓模式下,考慮到大氣氣壓計(jì)的分辨率和短期穩(wěn)定度,需加上+1 Pa (0.00015 psi)。
- Q-RPT指示相對于所施加壓力真值的大偏差,包括準(zhǔn)確度、預(yù)測1年期穩(wěn)定度、溫度影響和校準(zhǔn)不確定度,組合和擴(kuò)展(k=2)方法符合ISO“Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement”(測量中不確定度表述指南)。
- PPC4輸出壓力相對于真值的大偏差包括測量不確定度和默認(rèn)動態(tài)控制保持限值。
- 自動量程的百分比,但自動量程不低于Q-RPT 量程的30%(采用BG15K 和 G15K 時(shí)為10%)。例如,如果Q-RPT為滿量程標(biāo)準(zhǔn) A160K,當(dāng)自動量程為160 kPa ~ 48 kPa (160 kPa 量程×30%)時(shí),壓力測量不確定度為 0.015% × 自動量程,當(dāng)自動量程小于48 kPa 時(shí)為7.2 Pa (160 kPa 量程×30% ×0.015%) 。
- %讀數(shù)乘以測得的壓力(30~99% 量程)。在30% Q-RPT量程之下,%讀數(shù)值乘以30% Q-RPT量程。例如,如果Q-RPT為標(biāo)準(zhǔn) A160K,壓力測量不確定度為0.010%讀數(shù),直到48 kPa的測量壓力(160 kPa span × 30%),在48 kPa以下為0.0048 kPa(160 kPa span × 30% × 0.01%)。
- %讀數(shù)值乘以測得的壓力(30~99% 自動量程)。在30%自動量程之下,(% 讀數(shù)值)×(30% 自動量程); 如果自動量程低于Q-RPT量程的30%,則(%讀數(shù)值)×(測得的壓力值),或者(%讀數(shù))×(9% Q-RPT 量程),取較大值。 例如,如果Q-RPT為特級A160K,自動量程為160kPa,則壓力測量不確定度等于(測得的壓力)×0.008%(48 kPa) (160 kPa 自動量程 × 30%),在48 kPa下為0.0038 kPa (160 kPa 量程 × 30%×0.008%);如果自動量程為100 kPa (大于160 kPa Q-RPT 量程的30%),則壓力測量不確定度為(測得的壓力) × 0.008%(30kPa)(100 kPa 自動量程×30%) ,在30 kPa下為0.0024 kPa (100 kPa 量程×30%×0.008%);如果自動量程為30 kPa (低于160 kPa Q-RPT 量程的 30%),則壓力測量不確定度為(測得的壓力)× 0.008%(直到14.4 kPa) (160 kPa 大 Q-RPT 量程 × 9%) ,在14.4kPa下為 0.0012 kPa (160 kPa Q-RPT 量程 × 9% × 0.008%) 。
注:DHI 技術(shù)文章 8050TN11提供了 PPC4 Q-RPT不確定度的詳細(xì)說明。
Q-RPT傳感器說明:
對于國際單位版本中,量程的默認(rèn)單位為kPa。其它單位的量程為等效的kPa量程。對英制單位,量程的默認(rèn)單位為psi,其它單位的量程為等效的psi。
我們提供幾種不同等級的傳感器:包括通用傳感器和三種等級的Q-RPT傳感器。這些傳感器的技術(shù)指標(biāo)請參見Q- RPT等級表格。
- 滿量程等級Q-RPT(Full Scale),它適用于那些用“滿量程百分比”表示的不確定度,且要求校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)的不確定度為 ± 0.015 %或更低的應(yīng)用。由于滿量程標(biāo)準(zhǔn)的Q-RPT傳感器在其大量程的 30%以下的量程不確定度均為0.015 %,所以一個(gè)傳感器可覆蓋很寬的壓力范圍。滿量程等級傳感器是PPC4經(jīng)濟(jì)的Q-RPT傳感器,然而您仍然能夠獲得 PPC4出色的特性和的壓力控制功能。滿量程等級傳感器以“f”表示,在Q-RPT型號的后邊加“f”表示(例如A7Mf)。
- 標(biāo)準(zhǔn)等級Q-RPT(Standard),它適用于以“讀數(shù)百分比”表示不確定度,而不是給定量程不確定度的校準(zhǔn)或測試設(shè)備。其測量不確定度為±0.01 %的讀數(shù),傳感器的精度為0.008 %讀數(shù),它可用來校準(zhǔn)或測試除高性能之外的所有壓力測試或校準(zhǔn)設(shè)備。標(biāo)準(zhǔn)等級傳感器以“s”表示,在Q-RPT型號的后邊加“s”表示(例如,A10Ms)。
- 特級Q-RPT(Premium),它是的傳感器。它為壓力傳遞標(biāo)準(zhǔn)樹立了新的標(biāo)準(zhǔn)。該等級的Q-RPT傳感器適用于高性能和精度的應(yīng)用。特級Q-RPT傳感器一年期測量不確定度在其自動量程的30 %以上時(shí)為讀數(shù)的±0.008 %,傳感器的精度為0.005 %讀數(shù)。所以一個(gè)Q-RPT即使在稍低于其大量程時(shí)亦可提供出色的技術(shù)指標(biāo)。特級傳感器以“p”表示,附在Q-RPT型號的后邊加“p” 表示(例如,A700Kp)。
關(guān)于不確定或者精度的指標(biāo),要說明的是在使用中用戶終獲得的是測量的不確定度,而不是傳感器本身的精度。而測量的不確定度除了包括傳感器本身精度之外還包括線性度,遲滯性,溫度等各種因素。因此在閱讀指標(biāo)的時(shí)候要分清是哪種指標(biāo),此外還有特別關(guān)注一下那些角標(biāo)和注釋。
最后,還有指標(biāo)以外的東西,例如長期穩(wěn)定性,可靠性等。福祿克的壓力Q-RPT傳感器是經(jīng)過嚴(yán)格篩選的,是千里挑一出來的高性能傳感器。所謂高性能,不僅僅是指標(biāo),還包括了長期的穩(wěn)定性,可靠性等。
型號:
配件 | 描述 |
---|---|
A1.4M | PPC4 石英參考壓力傳感器 (Q-RPT) 國際單位版本 US 版 |
A100K | PPC4 石英參考壓力傳感器 (Q-RPT) 國際單位版本 US 版 |
A10M | PPC4 石英參考壓力傳感器 (Q-RPT) 國際單位版本 US 版 |
A14M | PPC4 Quartz Reference Pressure Transducer (Q-RPT) US Version |
A160K | PPC4 石英參考壓力傳感器 (Q-RPT) 國際單位版本 US 版 |
A200K | PPC4 石英參考壓力傳感器 (Q-RPT) 國際單位版本 US 版 |
A2M | PPC4 石英參考壓力傳感器 (Q-RPT) 國際單位版本 US 版 |
A3.5M1 | PPC4 石英參考壓力傳感器 (Q-RPT) 國際單位版本 US 版 |
A350K1 | PPC4 石英參考壓力傳感器 (Q-RPT) 國際單位版本 US 版 |
A700K1, u | PPC4 石英參考壓力傳感器 (Q-RPT) 國際單位版本 US 版 |
A7M1, u | PPC4 石英參考壓力傳感器 (Q-RPT) 國際單位版本 US 版 |
BA100K | PPC4 石英參考壓力傳感器 (Q-RPT) 國際單位版本 US 版 |
BG15K3 | PPC4 石英參考壓力傳感器 (Q-RPT) 國際單位版本 US 版 |
G100K2 | PPC4 石英參考壓力傳感器 (Q-RPT) 國際單位版本 US 版 |
G15K2 | PPC4 石英參考壓力傳感器 (Q-RPT) 國際單位版本 US 版 |
G200K2 | PPC4 石英參考壓力傳感器 (Q-RPT) 國際單位版本 US 版 |
RS232 | 9 針線,2m,用于 PPC4E COM1(部件號 2758335) |
BAS-SITE | BAS-SITE COMPASS |
BAS-SNGL | BAS-SNGL COMPASS |
ENH-SNGL | ENH-SNGL COMPASS |
PK-PPC-BG-DVU | BG15K Q-RPT 用雙倍容積單元(部件號 3070389) |
真空參考套件,110V | VA-PPC/MPC-REF,110V 用于 PPC EXHAUST 端口的真空泵套件(部件號 3584473) |
真空參考套件,220V | VA-PPC/MPC-REF,220V 用于 PPC EXHAUST 端口(220V)的真空泵套件(部件號 3584486) |
RPM4 | 用于外部 Q-RPT 和/或絕壓模式 AutoZ 的參考壓力監(jiān)測器(部件號 3072483) |
SPLT | PPC4 TEST 端口用液體自動凈化槽(部件號 3069823) |